非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统

    公开(公告)号:CN109373914A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811250577.2

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 本申请涉及一种非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器的可动电极,在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离;角度偏移量为可动电极在偏置电压下转动的角度;极间距离为可动电极的第一端面与静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离;可动电极的第一端面远离固定电极设置;固定电极的第一端面靠近可动电极设置;获取固定电极的第一端与用于固定可动电极的固定端面之间的第一距离,以及固定电极的第二端与固定端面之间的第二距离;根据各偏置电压、各角度偏移量、各极间距离、第一距离和第二距离,得到可动电极的厚度,因此,本申请提高了测量非平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度。

    性能测试方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113030687A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202110197136.6

    申请日:2021-02-22

    Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域,公开了一种性能测试方法,包括在不同的温度环境下对待测样品进行测试,获取待测样品的谐振频率温度系数;将待测样品固定于红外成像设备上,将红外成像设备加热至预设温度;向待测样品施加预设输入功率,使用红外成像设备对待测样品进行成像测试,获取待测样品在预设输入功率条件下的表面温度场信息;保持待测样品上施加的预设输入功率不变的情况下,测试获取待测样品的特征频率;根据谐振频率温度系数和特征频率,计算获取待测样品在预设输入功率条件下的等效温升。通过获取在预设功率负载下待测样品的表面温度场信息以及等效温升值,为相关产品的设计、可靠性评价及分析、失效机理建模等工作提供可靠的支撑。

    非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统

    公开(公告)号:CN109373914B

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201811250577.2

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 本申请涉及一种非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器的可动电极,在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离;角度偏移量为可动电极在偏置电压下转动的角度;极间距离为可动电极的第一端面与静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离;可动电极的第一端面远离固定电极设置;固定电极的第一端面靠近可动电极设置;获取固定电极的第一端与用于固定可动电极的固定端面之间的第一距离,以及固定电极的第二端与固定端面之间的第二距离;根据各偏置电压、各角度偏移量、各极间距离、第一距离和第二距离,得到可动电极的厚度,因此,本申请提高了测量非平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度。

    静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统

    公开(公告)号:CN109297397B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201811250439.4

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 本申请涉及一种静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流;形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻;对根据各电极间距和各电极间电流得到的线性关系进行拟合,得到拟合关系,并获取拟合关系的误差函数;根据误差函数的最小值,获得静电换能器的可动电极的厚度,通过本申请方法将静电换能器在加载偏置电压后,可动电极在发生形变过程中的电极间距与电极间电流建立对应的线性关系,并分析线性关系的误差,在线性关系的误差最小时,即可获取可动电极的厚度,避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差,提高了获取可动电极的厚度的精度。

    静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统

    公开(公告)号:CN109297397A

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201811250439.4

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 本申请涉及一种静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流;形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻;对根据各电极间距和各电极间电流得到的线性关系进行拟合,得到拟合关系,并获取拟合关系的误差函数;根据误差函数的最小值,获得静电换能器的可动电极的厚度,通过本申请方法将静电换能器在加载偏置电压后,可动电极在发生形变过程中的电极间距与电极间电流建立对应的线性关系,并分析线性关系的误差,在线性关系的误差最小时,即可获取可动电极的厚度,避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差,提高了获取可动电极的厚度的精度。

Patent Agency Ranking