三氟化氮气体发生用碳电极

    公开(公告)号:CN101001981A

    公开(公告)日:2007-07-18

    申请号:CN200580026535.5

    申请日:2005-08-03

    CPC classification number: C25B1/245 C25B11/14

    Abstract: 本发明提供仅经过将特定金属氟化物与碳材料混合后进行烧结的工序即可制作组织内的气孔少、机械强度高的碳电极,无论在NH4F-KF-HF体系还是NH4F-HF体系中碳电极都不会极化、显示长寿命的三氟化氮气体制造用碳电极。本发明的三氟化氮气体发生用碳电极由平均孔径为0.5μm以下的致密组织构成。另外,该电极优选由碳质材料和选自带有所述碳质材料烧结温度以上熔点的氟化镁、氟化铝中的至少1种以上的物质构成。优选选自所述氟化镁、氟化铝中至少1种以上的物质的含有率为3~10wt%。

    表面处理装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101959594B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN200980107772.2

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: H01L21/6719 B01J4/008 H01L21/67017 H01L21/67109

    Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备:稀释气体供给装置(1),氟气供给装置(2),混合稀释气体与氟气的混合器(5),以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热,在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开,通过使用流路(219、220、221、222),一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

    表面处理装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101959594A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980107772.2

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: H01L21/6719 B01J4/008 H01L21/67017 H01L21/67109

    Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备:稀释气体供给装置(1),氟气供给装置(2),混合稀释气体与氟气的混合器(5),以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热,在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开,通过使用流路(219、220、221、222),一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

    亲水化微粒的制备方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103154099A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201180048299.2

    申请日:2011-10-03

    CPC classification number: C08J3/12 C08J2333/06 C08J2383/04

    Abstract: 本发明提供一种即使提高亲水化处理中使用的混合气体中的氟气浓度,也能够抑制乙烯系聚合物微粒着色的亲水化微粒的制备方法。本发明的亲水化微粒的制备方法通过进行使含有氟气、含氧原子的化合物的气体、以及惰性气体的混合气体与基材粒子接触的处理,使基材粒子表面亲水化,以制备亲水化微粒,其特征在于,将个数平均粒径为1000μm以下的乙烯系聚合物微粒作为基材粒子;使所述混合气体中的氟气与含氧原子的化合物的气体的体积比(含氧原子的化合物的气体/氟气)小于6;使所述混合气体中的氟气浓度为0.9体积%以上。

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