公开(公告)号：CN101959594B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN200980107772.2

申请日：2009-03-06

Applicant: 东洋炭素株式会社

Inventor： 平岩次郎 ,  竹林仁 ,  吉本修 ,  田中则之 ,  藤田一郎 ,  佐佐木启能 ,  森一高

IPC: B01J19/00 ,  B01D53/68 ,  C08J7/12 ,  C23C8/08 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719 ,  B01J4/008 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备：稀释气体供给装置(1)，氟气供给装置(2)，混合稀释气体与氟气的混合器(5)，以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热，在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开，通过使用流路(219、220、221、222)，一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

公开(公告)号：CN101959594A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107772.2

申请日：2009-03-06

Applicant: 东洋炭素株式会社

Inventor： 平岩次郎 ,  竹林仁 ,  吉本修 ,  田中则之 ,  藤田一郎 ,  佐佐木启能 ,  森一高

IPC: B01J19/00 ,  B01D53/68 ,  C08J7/12 ,  C23C8/08 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719 ,  B01J4/008 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备：稀释气体供给装置(1)，氟气供给装置(2)，混合稀释气体与氟气的混合器(5)，以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热，在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开，通过使用流路(219、220、221、222)，一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。