氟系气体产生装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101248216B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200680030920.1

    申请日:2006-06-28

    CPC classification number: C25B1/245 C25B15/02 C25B15/08

    Abstract: 一种氟系气体产生装置,在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴,通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体,该氟系气体产生装置具有:原料供给配管,在前述电解槽中到达电解浴中,用于供给电解用原料;常闭型阀,设置在前述原料供给配管的中途;和设置有常开型阀的迂回用配管,将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此,电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内,可事先防止在原料供给配管内发生固化。

    气体产生装置以及气体产生方法

    公开(公告)号:CN102834549B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180018767.1

    申请日:2011-03-23

    CPC classification number: C25B1/245 C25B9/00 C25B15/08

    Abstract: 从设置于阳极室的液面传感器向控制装置提供输出信号。该输出信号表示阳极室内的电解浴的液面高度是否高于基准高度。控制装置在阳极室内的电解浴的液面高度高于基准高度时令变换器回路中产生的压气机的驱动电压的频率上升既定值的量。由此,压气机所配备的马达的旋转速度上升,从压气机排出的氢气的排出压上升,阴极室内的压力下降。其结果,阴极室内的电解浴的液面高度上升并且阳极室内的电解浴的液面高度变得低于基准高度。

    气体生成装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1661134A

    公开(公告)日:2005-08-31

    申请号:CN200410081825.7

    申请日:2004-12-17

    CPC classification number: C25B15/02 C25B1/245 C25B15/08

    Abstract: 本发明提供一种气体生成装置,通过延长过滤器的使用寿命而能够长时间保护压力调整阀。本发明的气体生成装置是一种将电解槽内的电解液电解生成气体的气体生成装置,包括:将从气体生成装置中生成的不要成分除去的除去塔,将从上述除去塔排放的雾沫除去的过滤器,以及调整上述电解槽内的压力的压力调整阀,上述过滤器插入上述除去塔的下游,上述压力调整阀配置在上述过滤器的下游。

    气体生成装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101942670A

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN201010275685.2

    申请日:2004-12-17

    CPC classification number: C25B15/02 C25B1/245 C25B15/08

    Abstract: 本发明提供一种气体生成装置,通过延长过滤器的使用寿命而能够长时间保护压力调整阀。本发明的气体生成装置是一种将电解槽内的电解液电解生成气体的气体生成装置,包括:将从气体生成装置中生成的不要成分除去的除去塔,将从上述除去塔排放的雾沫除去的过滤器,以及调整上述电解槽内的压力的压力调整阀,上述过滤器插入上述除去塔的下游,上述压力调整阀配置在上述过滤器的下游。

    表面处理装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101959594B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN200980107772.2

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: H01L21/6719 B01J4/008 H01L21/67017 H01L21/67109

    Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备:稀释气体供给装置(1),氟气供给装置(2),混合稀释气体与氟气的混合器(5),以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热,在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开,通过使用流路(219、220、221、222),一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

    表面处理装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101959594A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980107772.2

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: H01L21/6719 B01J4/008 H01L21/67017 H01L21/67109

    Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备:稀释气体供给装置(1),氟气供给装置(2),混合稀释气体与氟气的混合器(5),以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热,在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开,通过使用流路(219、220、221、222),一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

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