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公开(公告)号：CN101313385B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200680043555.8
申请日：2006-11-22
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , C11D1/66 , H01L21/304 , C11D3/43
CPC分类号： C11D3/43 , C11D1/66 , C11D1/667 , C11D1/72 , C11D3/18 , C11D3/181 , C11D3/182 , C11D3/184 , C11D3/188 , G03F7/2041 , G03F7/70341 , G03F7/70925 , G03F7/70983
摘要： 本发明提供一种在浸液曝光过程中能够高效地洗涤除去因为从光致抗蚀剂溶出的成分而导致的曝光装置部位(特别是光学透镜部)的污染物、且废液处理简便、与浸液介质的置换效率高、不阻碍半导体制造生产率的光刻法用洗涤液及使用该洗涤液的曝光装置的洗涤方法。本发明涉及光刻法用洗涤液及使用该洗涤液的曝光装置的洗涤方法，其中，所述光刻法用洗涤液在用浸液介质充满于曝光装置的光学透镜部和置于晶片载物台上的曝光对象物之间进行曝光的浸液曝光过程中，用于上述曝光装置的洗涤，所述光刻法用洗涤液含有(a)表面活性剂、(b)烃溶剂及(c)水。
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公开(公告)号：CN101076759B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200580042542.4
申请日：2005-11-29
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/40
摘要： 本发明提供一种新颖的光蚀刻用清洗液，该清洗液对抗蚀图案而言，是为了减少制品的表面缺陷的所谓瑕疵、防止水冲洗时的图案破坏的发生、又赋予抗蚀剂对电子射线照射的耐受性、抑制图案的收缩而使用的，且在储存中又不会发生因细菌造成的污染。该光蚀刻用清洗液，包括含有下述通式(式中的R1为可被氧原子中断的碳原子数8～20的烷基或羟烷基；R2及R3为碳数1～5的烷基或羟烷基)所示的含氧化胺化合物的水性溶液。[化学式1]
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公开(公告)号：CN102964837A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210308808.7
申请日：2012-08-27
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明提供能够对经高温烧成而形成的透明膜赋予良好的抗裂性和透明性的技术。一种透明膜用组合物，所述透明膜经500℃以上的高温烧成而形成，所述组合物含有将下述通式(1)表示的第1烷氧基硅烷和下述通式(2)表示的第2烷氧基硅烷作为起始原料的缩合生成物(A)、和有机溶剂(B)，直接键与缩合生成物(A)中的硅原子键和的甲基相对于缩合生成物(A)的含量为15～25％。(CH3)nSi(OR1)4-n (1)[通式(1)中，R1是碳原子数1～5的烷基。n是1或2的整数。多个(OR1)可以相同、也可以不同。]Si(OR2)4 (2)[通式(2)中，R2是碳原子数1～5的烷基。多个(OR2)可以相同、也可以不同]。
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公开(公告)号：CN1947067B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200580012690.1
申请日：2005-04-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
摘要： 本发明涉及一种新型光刻用冲洗液，及使用其的抗蚀图案的形成方法，所述光刻用冲洗液是，对于光致抗蚀图案，可以减少制品的表面缺陷，即所谓缺陷，并赋予抗蚀剂对电子射线照射的耐性，抑制图案收缩所使用的。调制包括含有在分子结构中具有氮原子的水溶性树脂的溶液的光刻用冲洗液，使用其通过以下工序形成抗蚀图案：(A)在基板上设置光致抗蚀膜的工序、(B)通过掩模图案对该光致抗蚀膜进行选择性曝光处理工序、(C)曝光后加热(PEB)处理工序、(D)碱性显影处理工序，及(E)使用上述光刻用冲洗液的处理工序。
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公开(公告)号：CN1947065B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200580012685.0
申请日：2005-04-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/40
摘要： 提供基于与目前防止图案崩溃的方法完全不同的原理的冲洗处理，不损害需要形成的图案的物性，制造高品质的制品的方法，该方法是对设置于基板上的光致抗蚀剂层实施成像曝光后，进行显影处理形成抗蚀图案的方法，其中，在显影处理后，对抗蚀图案表面上的接触液，进行使接触角降低为40度以下的处理，以及随后的使其上升为70度以上的处理后，进行干燥，形成抗蚀图案的方法。
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公开(公告)号：CN101093364A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710112536.2
申请日：2007-06-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/42 , G03F7/00 , H01L21/027
摘要： 本发明提供一种抗蚀剂用剥离液，所述抗蚀剂用剥离液不腐蚀基板发生、且能有效地除去光致抗蚀剂膜，所述基板为形成了含有银的金属层的基板以及形成了还含有其他金属的金属层的基板。本发明提供一种光致抗蚀剂用剥离液，所述光致抗蚀剂用剥离液含有0.5质量％以上20质量％以下(A)N，N－二乙基羟基胺、10质量％以上90质量％以下(B)烷醇胺以及10质量％以上90质量％以下(C)水溶性有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101076759A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200580042542.4
申请日：2005-11-29
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/40
摘要： 本发明提供一种新颖的光蚀刻用清洗液，该清洗液对抗蚀图案而言，是为了减少制品的表面缺陷的所谓瑕疵、防止水冲洗时的图案破坏的发生、又赋予抗蚀剂对电子射线照射的耐受性、抑制图案的收缩而使用的，且在储存中又不会发生因细菌造成的污染。该光蚀刻用清洗液，包括含有下述通式(式中的R1为可被氧原子中断的碳原子数8～20的烷基或羟烷基；R2及R3为碳数1～5的烷基或羟烷基)所示的含氧化胺化合物的水性溶液。
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公开(公告)号：CN101010640A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580028774.4
申请日：2005-08-29
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/322
摘要： 本发明提供一种新型光蚀刻用显影液组合物，其不用改变抗蚀剂组合物本身的组成，不会因使用而伴随产生抗蚀图案的品质降低，并高效减少缺陷；本发明还提供一种新型抗蚀图案形成方法，其使用该光蚀刻用显影液组合物以减少缺陷发生率，组合后续的采用特定冲洗液处理而控制图案的崩溃。本发明涉及组合物，其包含以下溶液，该溶液含有至少一种选自含有四烷基氢氧化铵、具有含氮杂环的单体结构单元的水溶性或碱溶性聚合物；并通过：(1)在基板上设置抗蚀膜的步骤；(2)通过掩模图案对于该抗蚀膜选择性地进行曝光处理的步骤；(3)曝光后进行加热处理的步骤；以及(4)以上述组合物进行显影处理的步骤形成抗蚀图案。
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公开(公告)号：CN1947067A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580012690.1
申请日：2005-04-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
摘要： 本发明涉及一种新型光刻用冲洗液，及使用其的抗蚀图案的形成方法，所述光刻用冲洗液是，对于光致抗蚀图案，可以减少制品的表面缺陷，即所谓缺陷，并赋予抗蚀剂对电子射线照射的耐性，抑制图案收缩所使用的。调制包括含有在分子结构中具有氮原子的水溶性树脂的溶液的光刻用冲洗液，使用其通过以下工序形成抗蚀图案：(A)在基板上设置光致抗蚀膜的工序、(B)通过掩模图案对该光致抗蚀膜进行选择性曝光处理工序、(C)曝光后加热(PEB)处理工序、(D)碱性显影处理工序，及(E)使用上述光刻用冲洗液的处理工序。
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公开(公告)号：CN1947065A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580012685.0
申请日：2005-04-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/40
摘要： 提供基于与目前防止图案崩溃的方法完全不同的原理的冲洗处理，不损害需要形成的图案的物性，制造高品质的制品的方法，该方法是对设置于基板上的光致抗蚀剂层实施成像曝光后，进行显影处理形成抗蚀图案的方法，其中，在显影处理后，对抗蚀图案表面上的接触液，进行使接触角降低为40度以下的处理，以及随后的使其上升为70度以上的处理后，进行干燥，形成抗蚀图案的方法。
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