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公开(公告)号：CN107885036A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610862123.5
申请日：2016-09-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725
Abstract: 本发明提供了一种运动台驱动装置，用于向所述运动台提供驱动力。所述运动台驱动装置包括驱动粗动台运动的长行程电机组和驱动微动台运动的短行程电机组；还包括磁阻电机组和微动台控制模块。所述磁阻电机组用于为所述微动台加、减速度提供推力；所述微动台控制模块通过一闭环反馈通道控制所述短行程电机组出力和通过一开环前馈通道控制所述磁阻电机组出力。解决现有的粗、微动台响应速度不够的问题。
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公开(公告)号：CN107783378A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610766749.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光刻机垂向微动结构和控制方法，其将光刻机曝光台下方设置至少四个传感器，并使用包含能够测量冗余位置的测量转换矩阵的计算分析系统，对四个传感器所发送的位置信号进行分析，以光刻机曝光台的期望位置为目标，分析光刻机曝光台垂向运动至期望位置时的加速度，由于使用上述计算分析系统能够将冗余位置测量出，因此在计算分析的时候能够将这些无用的冗余数据过滤，精确地分析出光刻机曝光台垂向运动至期望位置时所需的驱动力和加速度，因此本发明相对于现有技术能够提高对光刻机曝光台垂向微动控制的精度。
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公开(公告)号：CN106549550B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510607738.9
申请日：2015-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明公开一种直线电机、运动台及光刻装置，所述直线电机包括沿Z轴方向平行设置的磁钢阵列以及位于两所述磁钢阵列之间的三相线圈，所述磁钢阵列由若干沿X轴方向平行排列的磁钢组成，所述磁钢阵列沿Y轴方向分为两排并行排列的磁钢组，同一排的相邻磁钢间隔τ，一所述磁钢组中的磁钢和另一所述磁钢组中与其相邻的磁钢沿X轴方向错位排列。与现有技术相比，发明在保留直线运动功能的同时，多出一个可控的旋转自由度，可以额外实现旋转自由度的运动。本发明电机适用于代替采用两个直线电机差动实现小范围旋转自由度的工作场合，在节省一个直线电机的情况下，同样实现直线与旋转自由度功能。
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公开(公告)号：CN105207445B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410225655.9
申请日：2014-05-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明涉及一种多自由度直线电机，包括沿第一方向依序平行设置的第一磁铁阵列、第二磁铁阵列、第三磁铁阵列以及第四磁铁阵列，所述第一磁铁阵列与第二磁铁阵列之间形成第一磁场，所述第三磁铁阵列与第四磁铁阵列之间形成第二磁场，所述第一磁场与第二磁场的极性相反；以及U型的线圈阵列，所述，所述U型线圈阵列的两端分别插置于所述第一、第二磁场中。本发明中，在不增加线圈数量的同时，使直线电机具有x方向、y方向的推力，甚至具有Rz方向的转矩，实现直线电机多自由度运动。
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公开(公告)号：CN103795297B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201210435172.2
申请日：2012-11-02
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提供了一种磁浮平面电机包括线圈绕组单元和磁钢阵列，所述磁钢阵列由第一类磁钢组和第二类磁钢组沿第一方向和第二方向间隔排列而成，所述第一类磁钢组和第二类磁钢组分别由四个横截面呈正方形的具有斜向充磁方向的第一类磁钢块绕垂直于第一方向和第二方向的第三方向排列组成，所述第一类磁钢组和第二类磁钢组的横截面分别呈正方形，各相邻第一类磁钢组和第二类磁钢组之间分别设有一个横截面呈长方形的第二类磁钢块，所述第二类磁钢块的充磁方向为指向第一类磁钢组或第二类磁钢组。本发明通过采用具有斜向充磁方向的磁钢块，将不同充磁方向的磁钢块组合成磁钢阵列，形成了一个良好分布的交变磁场，大大提高了推力常数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106571731B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510647161.4
申请日：2015-10-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K99/00
Abstract: 本发明公开了一种超导体磁浮平面电机，包括定子和动子，所述动子位于所述定子的表面，所述动子的尺寸小于所述定子的尺寸，所述定子为线圈阵列，所述线圈阵列由若干线圈紧密排列而成，每个所述线圈内设有铁芯；所述动子为超导体阵列，所述超导体阵列包括至少三块超导体。与现有技术相比，本发明通过在线圈内设置铁芯，不仅可以增强线圈内电流产生的磁场强度，而且减小了线圈内部的涡电流，提高了电机的推力常数和工作效率；在线圈阵列表面设置多个超导体，或在超导体表面设置线圈阵列，不仅可增大电机的出力/体积比，还能降低电机的装配难度和对温度的敏感度，从而提高了电磁稳定性和磁浮平面电机的整体性能。
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公开(公告)号：CN104949610B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201410109212.3
申请日：2014-03-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明公开一种磁浮线缆台电机磁对准系统，包括：磁浮线缆台电机，所述磁浮线缆台电机包括动子线圈组件和定子磁钢阵列组件；所述动子线圈组件的绕线柱上设置第一线性霍尔传感元件，用于测量磁场的Z向磁密值，根据所述磁密值计算磁对准角度所述磁对准角度的计算公式为：所述第一线性霍尔传感元件为两个，且沿Y向相距Sd，且满足：Sd＝(2n+0.5)τ；其中n为大于等于0的整数，τ为所述定子磁钢阵列组件的磁极距，y为所述电机所在的位置，H1、H2分别为线性霍尔传感元件测得的两个Z向磁密值。
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公开(公告)号：CN105811730B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201410857405.7
申请日：2014-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
CPC classification number: H02K41/031 , H02K2201/18 , H02K2213/03
Abstract: 本发明公开了一种六自由度直线电机，包括磁铁阵列和线圈绕组，磁铁阵列包括第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列，第一海尔贝克磁铁阵列沿XY平面的截面为平行四边形，第二海尔贝克磁铁阵列与第一海尔贝克磁铁阵列结构相同，两者关于Y轴镜像对称；线圈绕组包括第一线圈绕组、第二线圈绕组、第三线圈绕组和第四线圈绕组，第一线圈绕组与第三线圈绕组关于Y轴镜像对称，第二线圈绕组与第四线圈绕组关于Y轴镜像对称。本发明通过沿XY平面的截面为平行四边形的第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列与四个线圈绕组相互作用产生多个沿Z轴的垂向力和多个沿XY平面的水平向力，通过力的分配控制，从而使直线电机实现六自由度的运动。
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公开(公告)号：CN106610302B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510680396.3
申请日：2015-10-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01D5/00
Abstract: 本发明公开一种绝对式测量装置，包括：一第一测量杆，该第一测量杆包括一水平面和一第一测量面，该第一测量面与水平面呈一角度θ，所述水平面长L0；一第一探头，该第一探头沿水平面直线运动，该第一探头用于探测该测量面与该第一探头之间的距离d；并根据d计算该第一探头的绝对位置，以所述水平面与测量面相交处为零位，计算公式为：L=(D‑d) / tanθ，其中，L为所述第一探头在X轴的绝对位置，D为所述第一探头测量面到所述水平面的距离。
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公开(公告)号：CN104143945B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201310168046.X
申请日：2013-05-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种动线圈型磁浮电机的磁对准方法及系统，所述方法包括：在所述动子线圈上安装压力传感器；向所述动线圈型磁浮电机输入恒定的交轴电流和直轴电流；向所述动线圈型磁浮电机输入第一模拟位置信号，并获取所述压力传感器上的对应于每个发力体的第一压力读数；向所述动线圈型磁浮电机输入第二模拟位置信号，获取所述压力传感器上的对应于每个发力体的第二压力读数；根据第一模拟位置信号和每个发力体的第一压力读数、第二压力读数确定每个发力体的初始磁角度。本发明能够简单、高效地获取动子线圈中各个发力体的初始磁角度，有效的降低动线圈型磁浮电机的磁对准时间，从而提高产品的工作效率。
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