-
公开(公告)号：CN104753306B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752308.7
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种磁钢阵列和磁浮平面电机，该磁钢阵列包括：一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列，所述一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列共同构成方形的磁钢阵列，所述二维海尔贝克磁钢阵列分设于该方形磁钢阵列一条对角线的两端位置处。本发明的磁钢阵列采用了二维海尔贝克磁钢阵列与一维海尔贝克磁钢阵列相结合的方式，与同样尺寸的纯一维磁钢阵列相比，增大了磁浮平面电机的推力常数。
-
公开(公告)号：CN105281531B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410331239.7
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机，包括外部背铁，所述外部背铁为圆筒型背铁或两个板型背铁；置于所述外部背铁内的磁钢组件；及置于外部背铁内侧及磁钢组件外侧之间的线圈，所述线圈与磁钢组件之间可相对运动；所述外部背铁的磁通饱和度沿重力方向由小变大。本发明通过设置磁通饱和度沿重力方向由小变大的外部背铁，使电机具有一个相对稳定地向上的作用力，以作为重力补偿，减小电机发热。
-
公开(公告)号：CN104795920B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410025032.7
申请日：2014-01-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种六自由度微动装置，包括：上、下背板、设置在所述上、下背板之间且间隔设置的水平向音圈电机和垂向音圈电机，所述水平向音圈电机和垂向音圈电机均采用PCB线圈，使得微动装置的多个音圈电机结构尺寸更加接近设计值，从而减小了因结构尺寸与设计值存在偏差而导致的推力波动与推力干扰。由于PCB线圈的工艺限制，使微动装置中电机在同等条件下相对于漆包绕制的传统电机推力常数小，减少额为30%左右。
-
公开(公告)号：CN104901586B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410073754.X
申请日：2014-03-03
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磁钢单元，包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢的四个方形第二磁钢，所述第一磁钢是N磁铁或S磁铁，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接，所述第三磁钢的磁化方向是指向N磁铁或者远离S磁铁。还公开了一种磁钢阵列、磁浮平面电机、三种线圈阵列、一种光刻装置。本发明所提供的磁钢单元、磁钢阵列提高了定子磁钢占积率，提高磁浮平面电机磁密，电机推力常数增大2%；本发明所提供的线圈阵列使磁浮平面电机动子结构更加紧凑、坚固，提高电机模态稳定性及高控制精度。
-
公开(公告)号：CN105024519B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410171838.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种无铁芯直线电机，包括定子和动子，定子包括上背铁、下背铁、固定在上背铁内表面的上排磁铁阵列和固定在下背铁内表面的下排磁铁阵列；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列均为交替设置的S极磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列位置相对的磁铁的极性相同；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列之间形成气隙；动子在气隙的长度方向作直线运动，动子包括冷却机构以及缠绕在冷却机构上的动子线圈；动子线圈所在平面与动子的直线运动方向垂直。本发明所提供的无铁芯直线电机输出功率大；电机结构紧凑，适合高速、高加速度运行；冷却速度快，效率高，节省空间；由于散热效果更好，所以可以通较大的电流，进而提高电机输出功率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104847825B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201410051753.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种阵列式高输出磁浮重力补偿器，包括两个定子结构和一个动子结构，两个所述定子结构分别从所述动子结构的上、下两侧对所述动子结构施加磁吸力和磁斥力，实现所述动子结构的重力补偿，且使得所述定子结构对所述动子结构所施加的水平向分力均抵消。本发明提出了一种新结构，首先利用两个定子从上、下两侧对动子施加磁力，进而利用该磁力形成悬浮力，起到了补偿重力的作用；其次，通过合理设置磁钢阵列，消除或减小一般磁浮重力补偿器固有的水平向寄生拉力和水平向刚度；再次，使得动子结构垂向受力恒定，垂向力输出增加，从而减少垂向刚度；最后，本发明中的阵列式磁浮重力补偿器磁钢均为长方体，大大改善了安装难度和精度情况。
-
-
公开(公告)号：CN105207445B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410225655.9
申请日：2014-05-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明涉及一种多自由度直线电机，包括沿第一方向依序平行设置的第一磁铁阵列、第二磁铁阵列、第三磁铁阵列以及第四磁铁阵列，所述第一磁铁阵列与第二磁铁阵列之间形成第一磁场，所述第三磁铁阵列与第四磁铁阵列之间形成第二磁场，所述第一磁场与第二磁场的极性相反；以及U型的线圈阵列，所述，所述U型线圈阵列的两端分别插置于所述第一、第二磁场中。本发明中，在不增加线圈数量的同时，使直线电机具有x方向、y方向的推力，甚至具有Rz方向的转矩，实现直线电机多自由度运动。
-
公开(公告)号：CN104753307B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752310.4
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/03
Abstract: 本发明公开了一种磁浮平面电机，包括：磁钢阵列和设置在所述磁钢阵列上的线圈阵列，所述磁钢阵列包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢设置的方形第二磁钢，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接。本发明采用若干线圈形成发力体，使得电机动子结构更为紧凑、坚固。磁钢阵列的结构改变，不仅提高了磁钢占积率，改善了电机磁密分布；而且在同等条件下，使得电机的推力常数增大至少2%。
-
公开(公告)号：CN105024496B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410151851.6
申请日：2014-04-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K15/00
Abstract: 本发明公开一种磁阵列装配装置，其特征在于，包括一承载底板，所述承载底板上放置磁体替代块、磁体定位装置、磁预置槽、阻尼滑块、推力转接件，导向装置和推力装置，所述磁体替代块用于定位所述磁体定位装置，所述磁体定位装置用于定位磁铁的放置位置，所述磁预置槽用于放置所述磁铁，所述阻尼滑块用于消除相邻所述磁铁间斥力，所述阻尼滑块和所述磁预置槽沿所述导向装置移动，所述推力装置用于将所述推力转接件移动至预定位置，所述推力转接件安装于所述磁体定位装置之间，若干所述磁铁被放置后形成所述磁阵列。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.034 seconds)
