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公开(公告)号：CN104795920B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410025032.7
申请日：2014-01-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种六自由度微动装置，包括：上、下背板、设置在所述上、下背板之间且间隔设置的水平向音圈电机和垂向音圈电机，所述水平向音圈电机和垂向音圈电机均采用PCB线圈，使得微动装置的多个音圈电机结构尺寸更加接近设计值，从而减小了因结构尺寸与设计值存在偏差而导致的推力波动与推力干扰。由于PCB线圈的工艺限制，使微动装置中电机在同等条件下相对于漆包绕制的传统电机推力常数小，减少额为30%左右。
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公开(公告)号：CN104901586B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410073754.X
申请日：2014-03-03
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磁钢单元，包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢的四个方形第二磁钢，所述第一磁钢是N磁铁或S磁铁，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接，所述第三磁钢的磁化方向是指向N磁铁或者远离S磁铁。还公开了一种磁钢阵列、磁浮平面电机、三种线圈阵列、一种光刻装置。本发明所提供的磁钢单元、磁钢阵列提高了定子磁钢占积率，提高磁浮平面电机磁密，电机推力常数增大2%；本发明所提供的线圈阵列使磁浮平面电机动子结构更加紧凑、坚固，提高电机模态稳定性及高控制精度。
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公开(公告)号：CN104753306B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752308.7
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种磁钢阵列和磁浮平面电机，该磁钢阵列包括：一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列，所述一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列共同构成方形的磁钢阵列，所述二维海尔贝克磁钢阵列分设于该方形磁钢阵列一条对角线的两端位置处。本发明的磁钢阵列采用了二维海尔贝克磁钢阵列与一维海尔贝克磁钢阵列相结合的方式，与同样尺寸的纯一维磁钢阵列相比，增大了磁浮平面电机的推力常数。
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公开(公告)号：CN105281531B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410331239.7
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机，包括外部背铁，所述外部背铁为圆筒型背铁或两个板型背铁；置于所述外部背铁内的磁钢组件；及置于外部背铁内侧及磁钢组件外侧之间的线圈，所述线圈与磁钢组件之间可相对运动；所述外部背铁的磁通饱和度沿重力方向由小变大。本发明通过设置磁通饱和度沿重力方向由小变大的外部背铁，使电机具有一个相对稳定地向上的作用力，以作为重力补偿，减小电机发热。
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公开(公告)号：CN105811809B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410850783.2
申请日：2014-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提出一种磁浮旋转电机，包括主磁钢阵列、辅钢阵列、多相电机绕组和单相电机绕组。主磁钢阵列由多个长条形磁铁和多个短条形磁铁间隔均匀设置；两个辅磁钢阵列分别由多个磁铁块构成，这些磁铁块位于上述这些长条形磁铁之间，与上述这些短条形磁铁并排；多相电机绕组由多个线圈构成，与上述主磁钢阵列对应设置；以及单相电机绕组，为圆环形，与上述辅磁钢阵列之一对应设置。本发明的多自由度磁浮旋转电机，能够同时拥有磁浮减震功能和直线电机功能，结构简单，易于实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106300874B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510268897.0
申请日：2015-05-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明公开了一种多自由度长行程直线电机，包括沿Y轴方向平行分布的若干个背铁、与所述背铁粘接的若干磁铁阵列和位于所述磁铁阵列之间的线圈，所述线圈沿Z轴方向从所述磁铁阵列一侧延展，还包括位置与所述线圈对应的导磁块，所述导磁块中心线位于所述磁铁阵列沿Z轴的负方向上。本发明提供的多自由度长行程直线电机，通过设置与线圈对应的导磁块，且导磁块位于磁铁阵列中心线沿Z轴的负方向一侧，当直线电机运动时，导磁块受磁铁阵列的作用而产生沿Z轴正向的重力补偿力，以抵消负载产生的沿Z轴方向带来重力，降低线圈沿Z轴正向的推力压力，提高了多自由度直线电机的整体性能，很好地满足了光刻设备的高精度定位要求。
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公开(公告)号：CN106571731B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510647161.4
申请日：2015-10-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K99/00
Abstract: 本发明公开了一种超导体磁浮平面电机，包括定子和动子，所述动子位于所述定子的表面，所述动子的尺寸小于所述定子的尺寸，所述定子为线圈阵列，所述线圈阵列由若干线圈紧密排列而成，每个所述线圈内设有铁芯；所述动子为超导体阵列，所述超导体阵列包括至少三块超导体。与现有技术相比，本发明通过在线圈内设置铁芯，不仅可以增强线圈内电流产生的磁场强度，而且减小了线圈内部的涡电流，提高了电机的推力常数和工作效率；在线圈阵列表面设置多个超导体，或在超导体表面设置线圈阵列，不仅可增大电机的出力/体积比，还能降低电机的装配难度和对温度的敏感度，从而提高了电磁稳定性和磁浮平面电机的整体性能。
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公开(公告)号：CN104949610B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201410109212.3
申请日：2014-03-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明公开一种磁浮线缆台电机磁对准系统，包括：磁浮线缆台电机，所述磁浮线缆台电机包括动子线圈组件和定子磁钢阵列组件；所述动子线圈组件的绕线柱上设置第一线性霍尔传感元件，用于测量磁场的Z向磁密值，根据所述磁密值计算磁对准角度所述磁对准角度的计算公式为：所述第一线性霍尔传感元件为两个，且沿Y向相距Sd，且满足：Sd＝(2n+0.5)τ；其中n为大于等于0的整数，τ为所述定子磁钢阵列组件的磁极距，y为所述电机所在的位置，H1、H2分别为线性霍尔传感元件测得的两个Z向磁密值。
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公开(公告)号：CN104753307B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752310.4
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/03
Abstract: 本发明公开了一种磁浮平面电机，包括：磁钢阵列和设置在所述磁钢阵列上的线圈阵列，所述磁钢阵列包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢设置的方形第二磁钢，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接。本发明采用若干线圈形成发力体，使得电机动子结构更为紧凑、坚固。磁钢阵列的结构改变，不仅提高了磁钢占积率，改善了电机磁密分布；而且在同等条件下，使得电机的推力常数增大至少2%。
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公开(公告)号：CN105811730B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201410857405.7
申请日：2014-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
CPC classification number: H02K41/031 , H02K2201/18 , H02K2213/03
Abstract: 本发明公开了一种六自由度直线电机，包括磁铁阵列和线圈绕组，磁铁阵列包括第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列，第一海尔贝克磁铁阵列沿XY平面的截面为平行四边形，第二海尔贝克磁铁阵列与第一海尔贝克磁铁阵列结构相同，两者关于Y轴镜像对称；线圈绕组包括第一线圈绕组、第二线圈绕组、第三线圈绕组和第四线圈绕组，第一线圈绕组与第三线圈绕组关于Y轴镜像对称，第二线圈绕组与第四线圈绕组关于Y轴镜像对称。本发明通过沿XY平面的截面为平行四边形的第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列与四个线圈绕组相互作用产生多个沿Z轴的垂向力和多个沿XY平面的水平向力，通过力的分配控制，从而使直线电机实现六自由度的运动。
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