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公开(公告)号：CN116073591A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211581982.9
申请日：2022-12-09
Applicant: 上海隐冠半导体技术有限公司 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K9/19
Abstract: 本发明提供了一种液冷装置及直线电机。该液冷装置包括：第一冷却组件，具有相互连通的第一进流空间和第一回流空间，第一进流空间与第一回流空间沿第一方向依次设置，第一进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第一回流空间；第二冷却组件，具有相互连通的第二进流空间和第二回流空间，第二回流空间与第二进流空间沿第一方向依次设置，第二进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第二回流空间；线圈位于第一冷却组件和第二冷却组件之间。本发明的技术方案的液冷装置能够解决采用现有单层冷却方式中难以控制液冷板的温升，且冷却液容易受外界温度影响的问题。
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公开(公告)号：CN106549550B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510607738.9
申请日：2015-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明公开一种直线电机、运动台及光刻装置，所述直线电机包括沿Z轴方向平行设置的磁钢阵列以及位于两所述磁钢阵列之间的三相线圈，所述磁钢阵列由若干沿X轴方向平行排列的磁钢组成，所述磁钢阵列沿Y轴方向分为两排并行排列的磁钢组，同一排的相邻磁钢间隔τ，一所述磁钢组中的磁钢和另一所述磁钢组中与其相邻的磁钢沿X轴方向错位排列。与现有技术相比，发明在保留直线运动功能的同时，多出一个可控的旋转自由度，可以额外实现旋转自由度的运动。本发明电机适用于代替采用两个直线电机差动实现小范围旋转自由度的工作场合，在节省一个直线电机的情况下，同样实现直线与旋转自由度功能。
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公开(公告)号：CN105024519B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410171838.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种无铁芯直线电机，包括定子和动子，定子包括上背铁、下背铁、固定在上背铁内表面的上排磁铁阵列和固定在下背铁内表面的下排磁铁阵列；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列均为交替设置的S极磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列位置相对的磁铁的极性相同；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列之间形成气隙；动子在气隙的长度方向作直线运动，动子包括冷却机构以及缠绕在冷却机构上的动子线圈；动子线圈所在平面与动子的直线运动方向垂直。本发明所提供的无铁芯直线电机输出功率大；电机结构紧凑，适合高速、高加速度运行；冷却速度快，效率高，节省空间；由于散热效果更好，所以可以通较大的电流，进而提高电机输出功率。
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公开(公告)号：CN105207445B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410225655.9
申请日：2014-05-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明涉及一种多自由度直线电机，包括沿第一方向依序平行设置的第一磁铁阵列、第二磁铁阵列、第三磁铁阵列以及第四磁铁阵列，所述第一磁铁阵列与第二磁铁阵列之间形成第一磁场，所述第三磁铁阵列与第四磁铁阵列之间形成第二磁场，所述第一磁场与第二磁场的极性相反；以及U型的线圈阵列，所述，所述U型线圈阵列的两端分别插置于所述第一、第二磁场中。本发明中，在不增加线圈数量的同时，使直线电机具有x方向、y方向的推力，甚至具有Rz方向的转矩，实现直线电机多自由度运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107786058B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610766341.9
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种直线电机，包括第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组以及线圈组，所述第二磁铁组具有第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁相连共同构成V型，所述第一磁铁组和所述第三磁铁组分别位于所述第一侧壁的外侧和所述第二侧壁的外侧；所述线圈组包括若干线圈，每个线圈的一端均容置于所述第一磁铁组和所述第一侧壁之间，每个线圈的另一端均容置于所述第三磁铁组和所述第二侧壁之间。相比传统直线电机，多了一个自由度，且驱动方向电机性能并不降低，将传统直线电机中存在的另一个方向磁场利用上，实现二个方向的推力。
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公开(公告)号：CN105281531B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410331239.7
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机，包括外部背铁，所述外部背铁为圆筒型背铁或两个板型背铁；置于所述外部背铁内的磁钢组件；及置于外部背铁内侧及磁钢组件外侧之间的线圈，所述线圈与磁钢组件之间可相对运动；所述外部背铁的磁通饱和度沿重力方向由小变大。本发明通过设置磁通饱和度沿重力方向由小变大的外部背铁，使电机具有一个相对稳定地向上的作用力，以作为重力补偿，减小电机发热。
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公开(公告)号：CN105811809B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410850783.2
申请日：2014-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提出一种磁浮旋转电机，包括主磁钢阵列、辅钢阵列、多相电机绕组和单相电机绕组。主磁钢阵列由多个长条形磁铁和多个短条形磁铁间隔均匀设置；两个辅磁钢阵列分别由多个磁铁块构成，这些磁铁块位于上述这些长条形磁铁之间，与上述这些短条形磁铁并排；多相电机绕组由多个线圈构成，与上述主磁钢阵列对应设置；以及单相电机绕组，为圆环形，与上述辅磁钢阵列之一对应设置。本发明的多自由度磁浮旋转电机，能够同时拥有磁浮减震功能和直线电机功能，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN106300874B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510268897.0
申请日：2015-05-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明公开了一种多自由度长行程直线电机，包括沿Y轴方向平行分布的若干个背铁、与所述背铁粘接的若干磁铁阵列和位于所述磁铁阵列之间的线圈，所述线圈沿Z轴方向从所述磁铁阵列一侧延展，还包括位置与所述线圈对应的导磁块，所述导磁块中心线位于所述磁铁阵列沿Z轴的负方向上。本发明提供的多自由度长行程直线电机，通过设置与线圈对应的导磁块，且导磁块位于磁铁阵列中心线沿Z轴的负方向一侧，当直线电机运动时，导磁块受磁铁阵列的作用而产生沿Z轴正向的重力补偿力，以抵消负载产生的沿Z轴方向带来重力，降低线圈沿Z轴正向的推力压力，提高了多自由度直线电机的整体性能，很好地满足了光刻设备的高精度定位要求。
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公开(公告)号：CN106571731B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510647161.4
申请日：2015-10-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K99/00
Abstract: 本发明公开了一种超导体磁浮平面电机，包括定子和动子，所述动子位于所述定子的表面，所述动子的尺寸小于所述定子的尺寸，所述定子为线圈阵列，所述线圈阵列由若干线圈紧密排列而成，每个所述线圈内设有铁芯；所述动子为超导体阵列，所述超导体阵列包括至少三块超导体。与现有技术相比，本发明通过在线圈内设置铁芯，不仅可以增强线圈内电流产生的磁场强度，而且减小了线圈内部的涡电流，提高了电机的推力常数和工作效率；在线圈阵列表面设置多个超导体，或在超导体表面设置线圈阵列，不仅可增大电机的出力/体积比，还能降低电机的装配难度和对温度的敏感度，从而提高了电磁稳定性和磁浮平面电机的整体性能。
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