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公开(公告)号：CN107665827B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201610612820.5
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明公开了一种芯片键合装置和方法，该芯片键合装置包括：芯片转载单元，用于临时批量承载并保持多个目标芯片，并将所述多个目标芯片键合到基底上；键合台，用于承载基底；注胶单元，用于在键合前对所述基底上的预定键合位置注入光敏胶；光敏胶固化单元，设置在所述键合台内，用于对所述光敏胶进行固化；以及控制系统，所述控制系统控制所述芯片转载单元、键合台、注胶单元以及光敏胶固化单元协调动作。本发明采用光敏胶键合基底和目标芯片，可以解决批量键合中干膜胶对不同厚度芯片与基底键合适应性问题。
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公开(公告)号：CN108663907B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201710210545.9
申请日：2017-03-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种基底台系统、光刻设备和光刻方法，基地台系统中的工件台系统包括一基底曝光工位，位于光刻机的曝光区域；一转接台，位于所述基底曝光工位的一侧；至少两个微动台，用于承载基底；一粗动台，用于带动所述微动台在所述基底曝光工位上移动；当一个微动台位于所述转接台上进行基底交接时，所述粗动台带动另一个微动台移动至所述基底曝光工位上，使得位于该微动台上的基底曝光。则本发明提供的工件台系统中仅需在基底曝光工位一侧设置用于放置转接台以及一个微动台的空间，因此相对于现有技术，本发明提供的工件台系统并未占用较大的空间，节省了占地成本。
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公开(公告)号：CN107885039A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610876576.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/709
Abstract: 本发明提供了一种可变磁浮力重力补偿器，所述重力补偿器包括：依次从内到外同心设置的调节磁铁、中心柱磁铁、外环磁铁和外环磁铁外壳、以及调节磁铁垂向驱动机构，其中所述调节磁铁设置在所述中心柱磁铁的中心孔中并且其一端安装在所述调节磁铁垂向驱动机构上，所述调节磁铁与所述中心柱磁铁充磁方向相反，所述调节磁铁垂向驱动机构用于调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移以调节所述重力补偿器的磁浮力。本发明的可变磁浮力重力补偿器通过增加垂向调节磁铁能够在不影响水平向行程的条件下提供50％的大范围无极可调磁浮重力补偿力，大大增加了重力补偿器的应用范围和灵活性。
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公开(公告)号：CN107327482A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201610285806.9
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: F16C32/04
CPC classification number: F16C32/0434
Abstract: 本发明提供一种磁浮导轨，动子和定子分别具有磁铁和充磁磁钢以形成对向磁路，在动子和定子之间形成多个方向的浮力和刚度，使连接负载的动子与导轨定子形成磁浮间隙。另外，本发明还提供一种磁浮导轨的气隙厚度控制方法，通过改变动子中磁钢的空间角度从而改变磁路结构，达到改变浮力的目的，使该直线磁浮导轨较其他被动式磁浮具有更广泛的应用场景。本发明的磁浮导轨在不需要气源的条件下可提供稳定的基础浮力间隙；对于不同配重，可以通过调整内部磁路结构在较宽的范围内改变浮力，达到调校间隙的目的；由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以可无限增加使用行程。
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公开(公告)号：CN103795297B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201210435172.2
申请日：2012-11-02
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提供了一种磁浮平面电机包括线圈绕组单元和磁钢阵列，所述磁钢阵列由第一类磁钢组和第二类磁钢组沿第一方向和第二方向间隔排列而成，所述第一类磁钢组和第二类磁钢组分别由四个横截面呈正方形的具有斜向充磁方向的第一类磁钢块绕垂直于第一方向和第二方向的第三方向排列组成，所述第一类磁钢组和第二类磁钢组的横截面分别呈正方形，各相邻第一类磁钢组和第二类磁钢组之间分别设有一个横截面呈长方形的第二类磁钢块，所述第二类磁钢块的充磁方向为指向第一类磁钢组或第二类磁钢组。本发明通过采用具有斜向充磁方向的磁钢块，将不同充磁方向的磁钢块组合成磁钢阵列，形成了一个良好分布的交变磁场，大大提高了推力常数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107885039B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201610876576.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种可变磁浮力重力补偿器，所述重力补偿器包括：依次从内到外同心设置的调节磁铁、中心柱磁铁、外环磁铁和外环磁铁外壳、以及调节磁铁垂向驱动机构，其中所述调节磁铁设置在所述中心柱磁铁的中心孔中并且其一端安装在所述调节磁铁垂向驱动机构上，所述调节磁铁与所述中心柱磁铁充磁方向相反，所述调节磁铁垂向驱动机构用于调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移以调节所述重力补偿器的磁浮力。本发明的可变磁浮力重力补偿器通过增加垂向调节磁铁能够在不影响水平向行程的条件下提供50％的大范围无极可调磁浮重力补偿力，大大增加了重力补偿器的应用范围和灵活性。
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公开(公告)号：CN107327482B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201610285806.9
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: F16C32/04
Abstract: 本发明提供一种磁浮导轨，动子和定子分别具有磁铁和充磁磁钢以形成对向磁路，在动子和定子之间形成多个方向的浮力和刚度，使连接负载的动子与导轨定子形成磁浮间隙。另外，本发明还提供一种磁浮导轨的气隙厚度控制方法，通过改变动子中磁钢的空间角度从而改变磁路结构，达到改变浮力的目的，使该直线磁浮导轨较其他被动式磁浮具有更广泛的应用场景。本发明的磁浮导轨在不需要气源的条件下可提供稳定的基础浮力间隙；对于不同配重，可以通过调整内部磁路结构在较宽的范围内改变浮力，达到调校间隙的目的；由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以可无限增加使用行程。
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公开(公告)号：CN107872140A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201610850239.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/035
CPC classification number: H02K41/0354
Abstract: 本发明提供了一种音圈电机及平台装置，所述音圈电机包括：第一背铁和第二背铁，相对平行设置；第一磁铁阵列和第二磁铁阵列，相对地固定于所述第一和第二背铁的内壁上；第一线圈组和第二线圈组，位于所述第一和第二磁铁阵列之间并且层叠设置；其中所述第一线圈组与所述第一磁铁阵列配合，在通电后所述第一线圈组提供第一方向控制力，使得所述音圈电机具有第一自由度；所述第二线圈组与所述第二磁铁阵列配合，在通电后所述第一线圈组提供第二方向的控制力，使得所述音圈电机具有第二自由度。本发明的音圈电机实现了两个自由度的运动出力，采用本发明的音圈电机的平台装置通过运用控制策略，使得一台电机即可实现在一个平面内的微动。
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公开(公告)号：CN107786058A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610766341.9
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种直线电机，包括第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组以及线圈组，所述第二磁铁组具有第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁相连共同构成V型，所述第一磁铁组和所述第三磁铁组分别位于所述第一侧壁的外侧和所述第二侧壁的外侧；所述线圈组包括若干线圈，每个线圈的一端均容置于所述第一磁铁组和所述第一侧壁之间，每个线圈的另一端均容置于所述第三磁铁组和所述第二侧壁之间。相比传统直线电机，多了一个自由度，且驱动方向电机性能并不降低，将传统直线电机中存在的另一个方向磁场利用上，实现二个方向的推力。
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公开(公告)号：CN107666229A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610616991.5
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/035 , H02K9/22 , H02K9/19
CPC classification number: H02K41/0354 , H02K9/19 , H02K9/22
Abstract: 本发明提供了一种音圈电机，包括线圈，所述线圈外依次设置有内盒和外盒；所述线圈与所述内盒之间填充有第一导热介质；所述内盒与所述外盒之间填充有第二导热介质；所述第一导热介质绝缘；当所述线圈发热时，热量通过所述第一导热介质和所述第二导热介质传到所述音圈电机外。所述第一导热介质可以全方位的围绕在线圈的外表面，一方面，保证了与线圈的绝缘，从而保证了音圈电机的使用寿命，另一方面，实现了立体的、全方位的散热效果。
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