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公开(公告)号：CN106610302B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510680396.3
申请日：2015-10-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01D5/00
Abstract: 本发明公开一种绝对式测量装置，包括：一第一测量杆，该第一测量杆包括一水平面和一第一测量面，该第一测量面与水平面呈一角度θ，所述水平面长L0；一第一探头，该第一探头沿水平面直线运动，该第一探头用于探测该测量面与该第一探头之间的距离d；并根据d计算该第一探头的绝对位置，以所述水平面与测量面相交处为零位，计算公式为：L=(D‑d) / tanθ，其中，L为所述第一探头在X轴的绝对位置，D为所述第一探头测量面到所述水平面的距离。
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公开(公告)号：CN109520403B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710854320.7
申请日：2017-09-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明提供了一种电容传感器测量电路及方法，所述电容传感器测量电路包括控制器、基准电压充电电路、电容桥电路和信号处理电路，其中：所述基准电压充电电路包括第一充电电路和第二充电电路，所述控制器为所述第一充电电路提供第一基准电压，所述控制器为所述第二充电电路提供第二基准电压；所述电容桥电路包括第一电容电路和第二电容电路，所述第一充电电路为所述第一电容电路充电，使第一电容电路产生第一信号；所述第二充电电路为所述第二电容电路充电，使第二电容电路产生第二信号；所述第一充电电路的充电和所述第二充电电路的充电交替发生；所述信号处理电路对所述第一信号和所述第二信号进行处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105449931B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410429585.9
申请日：2014-08-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K9/19
Abstract: 本发明公开一种平面电机，所述平面电机包括：大理石底座，印刷电路板(PCB)线圈板以及磁钢阵列动子平台，其特征在于：还包括一冷却装置，所述冷却板设置于所述印刷电路板(PCB)线圈板与所述磁钢阵列动子平台之间，所述冷却板是通过PCB板上的覆金属材料构筑冷却管道图案的方式制成，冷却液体在所述冷却管道中流通以对所述印刷电路板(PCB)线圈板进行散热。本发明提出的带有冷却装置的平面电机可以有效改善印刷电路板(PCB)线圈板的散热问题，降低印刷电路板(PCB)线圈板的表面温度。
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公开(公告)号：CN105449976B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410429462.5
申请日：2014-08-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种永磁直线电机的驱动装置，其特征在于，该永磁直线电机包括定子和动子，该动子由无铁心双三相绕组组成，该永磁直线电机的一个三线绕组连接第一逆变器，另一个三线绕组连接第二逆变器；该无铁心双三相绕组为双Y型绕组。
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公开(公告)号：CN107290932B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610193277.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种运动台测量系统、方法以及运动台，该运动台测量系统包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块，其中，所述加速度传感器为三向正交振动的加速度传感器。本发明采用三向正交振动的加速度传感器，可以同时测量粗动电机在X、Y、Z三个方向的加速度，并输出三个方向的加速度值，实现空间上的监控，加速度值具有相位超前，提前判断的优点，可以及时保护运动台，解决掉现有技术中存在的安全隐患。且本发明中的每个粗动电机上的加速度传感器均设置有两组，可以精确获得运动台的实际速度和位移。
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公开(公告)号：CN109520403A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201710854320.7
申请日：2017-09-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明提供了一种电容传感器测量电路及方法，所述电容传感器测量电路包括控制器、基准电压充电电路、电容桥电路和信号处理电路，其中：所述基准电压充电电路包括第一充电电路和第二充电电路，所述控制器为所述第一充电电路提供第一基准电压，所述控制器为所述第二充电电路提供第二基准电压；所述电容桥电路包括第一电容电路和第二电容电路，所述第一充电电路为所述第一电容电路充电，使第一电容电路产生第一信号；所述第二充电电路为所述第二电容电路充电，使第二电容电路产生第二信号；所述第一充电电路的充电和所述第二充电电路的充电交替发生；所述信号处理电路对所述第一信号和所述第二信号进行处理。
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公开(公告)号：CN107290932A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201610193277.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种运动台测量系统、方法以及运动台，该运动台测量系统包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块，其中，所述加速度传感器为三向正交振动的加速度传感器。本发明采用三向正交振动的加速度传感器，可以同时测量粗动电机在X、Y、Z三个方向的加速度，并输出三个方向的加速度值，实现空间上的监控，加速度值具有相位超前，提前判断的优点，可以及时保护运动台，解决掉现有技术中存在的安全隐患。且本发明中的每个粗动电机上的加速度传感器均设置有两组，可以精确获得运动台的实际速度和位移。
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