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公开(公告)号：CN108008658B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201610934139.2
申请日：2016-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 赵娟
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种数据采集系统及采集方法，该系统包括：上位机；运动控制机箱，包括运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡、数据采集卡以及设于机箱背板上且与运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡和数据采集卡连接的第一GbE控制总线、第一SRIO数据总线和第一同步总线，运动主控卡与上位机连接；数据采集机箱，包括数据主控卡、数据接收卡以及设于机箱背板上且与数据主控卡和数据接收卡连接的第二GbE控制总线、第二SRIO数据总线和第二同步总线，数据主控卡与上位机连接。本发明采用数据采集机箱在不影响同步伺服控制的前提下采集运动控制机箱中的数据，提升了海量数据采集的实时性和可靠性，满足了光刻机对实时性和大数据性的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107783378B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201610766749.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光刻机垂向微动结构和控制方法，其将光刻机曝光台下方设置至少四个传感器，并使用包含能够测量冗余位置的测量转换矩阵的计算分析系统，对四个传感器所发送的位置信号进行分析，以光刻机曝光台的期望位置为目标，分析光刻机曝光台垂向运动至期望位置时的加速度，由于使用上述计算分析系统能够将冗余位置测量出，因此在计算分析的时候能够将这些无用的冗余数据过滤，精确地分析出光刻机曝光台垂向运动至期望位置时所需的驱动力和加速度，因此本发明相对于现有技术能够提高对光刻机曝光台垂向微动控制的精度。
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公开(公告)号：CN106158669B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201510197621.8
申请日：2015-04-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种准同步封装的装置，包括：一激光功率控制器，用于控制一激光器提供一不同功率的激光光束；一振镜单元，该振镜单元包括一X‑Y向振镜以及一角度测量传感器，该激光光束经该X‑Y向振镜反射在一待封装物体表面形成一封装光斑，该角度测量传感器用于测量该X‑Y向振镜的偏转角度；一振镜检测控制单元，该振镜检测控制单元与该振镜单元以及该激光功率控制器相连，根据该X‑Y向振镜的偏转角度控制该激光功率控制器。
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公开(公告)号：CN108008658A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201610934139.2
申请日：2016-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 赵娟
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种数据采集系统及采集方法，该系统包括：上位机；运动控制机箱，包括运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡、数据采集卡以及设于机箱背板上且与运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡和数据采集卡连接的第一GbE控制总线、第一SRIO数据总线和第一同步总线，运动主控卡与上位机连接；数据采集机箱，包括数据主控卡、数据接收卡以及设于机箱背板上且与数据主控卡和数据接收卡连接的第二GbE控制总线、第二SRIO数据总线和第二同步总线，数据主控卡与上位机连接。本发明采用数据采集机箱在不影响同步伺服控制的前提下采集运动控制机箱中的数据，提升了海量数据采集的实时性和可靠性，满足了光刻机对实时性和大数据性的要求。
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公开(公告)号：CN107783378A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610766749.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光刻机垂向微动结构和控制方法，其将光刻机曝光台下方设置至少四个传感器，并使用包含能够测量冗余位置的测量转换矩阵的计算分析系统，对四个传感器所发送的位置信号进行分析，以光刻机曝光台的期望位置为目标，分析光刻机曝光台垂向运动至期望位置时的加速度，由于使用上述计算分析系统能够将冗余位置测量出，因此在计算分析的时候能够将这些无用的冗余数据过滤，精确地分析出光刻机曝光台垂向运动至期望位置时所需的驱动力和加速度，因此本发明相对于现有技术能够提高对光刻机曝光台垂向微动控制的精度。
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公开(公告)号：CN109959453A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711433097.5
申请日：2017-12-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01J4/00
Abstract: 本发明公开了一种线栅拼接标定装置及方法。该装置包括光源组件、线栅组件和线栅调整机构，线栅组件包括滤波片和线栅，所述线栅上设置有识别线条，该识别线条方向与偏振方向呈一定角度，该角度可通过已知的离线标定的方式得到；所述线栅调整机构包括依次相连的CCD感光器、比对处理器和角度调节器。其方法为采用CCD感光器获取所述识别线条的角度信息，比对处理器将其与允许的系统误差值进行比对，当所述识别线条的角度信息大于允许的系统误差值时，向所述角度调节器发出修正指令以对所述线栅进行调整，以实现快速拼接。
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