半导体装置和制造半导体装置的方法

    公开(公告)号:CN114843222A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202111225800.X

    申请日:2021-10-21

    Abstract: 公开了半导体装置和半导体装置的制造方法。所述半导体装置包括:介电层;沟槽,形成在介电层中;金属图案,共形地覆盖介电层的顶表面、沟槽的内侧表面和沟槽的底表面;第一保护层,共形地覆盖金属图案;以及第二保护层,覆盖第一保护层。腔形成在沟槽中。腔被第一保护层围绕。第一保护层具有穿透第一保护层且从第一保护层的顶表面延伸的开口。开口连接到腔。第二保护层的一部分延伸到开口中并且将腔封闭。

    红外探测器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103968957B

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201410044815.X

    申请日:2014-02-07

    Inventor: 南圣炫 朴海锡

    Abstract: 本发明提供了红外探测器。红外探测器可以包括:基板;谐振单元,与基板间隔开,谐振单元配置为通过在入射红外光的多个波长处引起谐振而产生热;热敏电阻层,配置为支撑谐振单元并与谐振单元间隔开,热敏电阻层具有根据谐振单元中产生的热而改变的电阻值;以及连接单元,配置为支撑热敏电阻层使得热敏电阻层与基板间隔开并将热敏电阻层电连接到基板。

    集成电路器件及封装集成电路器件

    公开(公告)号:CN116387248A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202211667448.X

    申请日:2022-12-23

    Abstract: 提供了一种集成电路器件及封装集成电路器件。所述集成电路器件包括半导体基板,所述半导体基板中具有第一器件区域、第二器件区域和划片线区域。在所述第一器件区域与所述第二器件区域之间延伸的划片线区域包括与所述第一器件区域相邻的第一边缘区域、与所述第二器件区域相邻的第二边缘区域和在所述第一器件区域与所述第二器件区域之间延伸的切割区域。下层间绝缘层设置在所述第一器件区域和所述第二器件区域上且设置在所述划片线区域上。设置有第一多级保护环,当从俯视视角观察时,所述第一多级保护环至少部分地围绕所述第一器件区域。设置有具有凹部的绝缘结构。所述凹部邻近所述第一多级保护环延伸并且暴露所述下层间绝缘层的上表面。

    射频模块及其制造方法和包括射频模块的多射频模块

    公开(公告)号:CN105577135A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201510977914.8

    申请日:2006-08-28

    Abstract: 提供了一种能够通过在单个芯片内封装多个元件而在晶片上制造的射频(RF)模块、包括所述RF模块的多RF模块和制造所述RF模块的方法。所述RF模块包括:基础衬底;第一元件,其形成于所述基础衬底上,其处理RF信号;第二元件,其设置在所述第一元件之上并与之隔开,其处理RF信号;盖顶衬底,其与所述基础衬底耦合,以封装所述第一和第二元件,并且其包括多个将所述第一和第二元件与外部电连接的导通电极;以及密封垫,其封装并接合所述基础衬底和所述盖顶衬底,并且其将所述第一和第二元件电连接至所述导通电极。

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