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公开(公告)号：CN110998801B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880051985.7
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
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公开(公告)号：CN114270083A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080056892.0
申请日：2020-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
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公开(公告)号：CN114269966A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080059115.1
申请日：2020-09-03
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供一种气化供给装置(1)，具备：预加热部(2)，其对液体原料(L)进行预加热；气化部(3)，其配置于所述预加热部(2)的上部，且对从所述预加热部(2)送出的已被预加热的所述液体原料(L)进行加热并使其气化；流量控制装置(4)，其配置于所述气化部(3)的上部，用于对从所述气化部(3)所送出的气体(G)的流量进行控制；以及加热器(5)，其对所述预加热部(2)、所述气化部(3)以及所述流量控制装置(4)进行加热。
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公开(公告)号：CN113924435A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202080042313.7
申请日：2020-06-08
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16K31/122 , F16K39/02
Abstract: 本发明提供不受高压用、高温用等用途制约而具有优异的耐久性能且能够抑制颗粒产生的控制阀。隔膜阀包括：阀体(2)，其形成有流体的流入通路(22)及流出通路(23)；阀座(25)，其形成于该阀体内的流入通路的周缘；隔膜(30)，其通过与该阀座抵接/分离来进行流入通路与流出通路的连通/截断；隔膜按压部(31)，其按压该隔膜的中央部；以及致动器(4)，其使该隔膜按压部移动，所述隔膜阀具有调节机构，该调节机构将所述阀座与所述隔膜之间的封闭压力调节为规定的压力。
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公开(公告)号：CN110998156B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201880049658.8
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 目的在于提供螺纹部分的结构简单并且即使使用者对旋转操作部件施加过度的旋转力也能够可靠地用预定的紧固力紧固阀的阀的过度紧固防止装置。过度紧固防止装置具备：底座部；第一阀杆，与底座部的螺纹孔螺合；第二阀杆，移动自如地插入第一阀杆的插入空间的内部；旋转操作部件，能够进行旋转操作；压缩弹簧，被夹在旋转操作部件与第一阀杆的头部之间，被向开闭方向压缩；以及连结销，将第一阀杆的头部、第二阀杆以及旋转操作部件以无法彼此相对旋转的方式连结。第一阀杆的头部具有比底座部的螺纹孔的内径大的外径。在头部形成有在开闭方向上延伸的长孔，连结销插入长孔。由此，允许第一阀杆相对于旋转操作部件和第二阀杆向开闭方向的相对移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113647008A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025996.5
申请日：2020-04-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部，第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小，测定部在从电源部供给规定电压的状态下，测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压)，控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值，基于所计算出的电阻值，判定压电元件是否发生了劣化。
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公开(公告)号：CN110301165B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201880012221.7
申请日：2018-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可提高流体的加热效率的流体加热器、流体控制装置以及流体加热器的制造方法。流体加热器(20)具备：形成有流路(22c)的流路部件(22)、以及用于对流路部件(22)进行加热的加热器(25)，流路(22c)呈螺旋状，且沿着长度方向的剖面的形状呈多边形状。流路部件(22)的造型方向(M)与多边形的一个对角线平行。流路部件(22)呈大致圆柱形，其长度方向与流路部件(22)的造型方向为相同方向。
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公开(公告)号：CN108604100B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201780009508.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力控制装置及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，也能够在早期将腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置(1)具备：CPU(18)，其在为了使腔室(3)内部成为负压而向腔室(3)内部供给气体的情况下，以规定的比率从设定压力信号减去流量信号；比较电路(21)，其对检测压力信号和进行了减去的设定压力信号进行比较，该检测压力信号表示由压力传感器(4)检出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其基于比较电路(21)的比较结果来控制流量控制阀(14)。
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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN108351655B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201680062337.2
申请日：2016-08-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。
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