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    气化供给装置
    2.
    发明公开
    气化供给装置 失效

    公开(公告)号：CN107532298A

    公开(公告)日：2018-01-02

    申请号：CN201680007156.X

    申请日：2016-04-11

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  平尾圭志

    IPC分类号： C23C16/448 ,  B01J4/00 ,  B01J7/02 ,  C23C16/52 ,  H01L21/31

    摘要： 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

    原料的汽化供给装置
    3.
    发明公开
    原料的汽化供给装置 有权

    公开(公告)号：CN103493181A

    公开(公告)日：2014-01-01

    申请号：CN201280020255.3

    申请日：2012-02-20

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 日高敦志 ,  平田薰 ,  永濑正明 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

    IPC分类号： H01L21/205 ,  C23C16/448

    CPC分类号： C23C16/45512 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45557 ,  C23C16/52 ,  Y10T137/7837

    摘要： 本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。

    液面检测电路、液位计、含有液位计的容器以及使用该容器的气化器
    7.
    发明授权
    液面检测电路、液位计、含有液位计的容器以及使用该容器的气化器 有权

    公开(公告)号：CN107003169B

    公开(公告)日：2019-09-24

    申请号：CN201580054407.5

    申请日：2015-11-24

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  日高敦志 ,  西野功二 ,  池田信一

    IPC分类号： G01F23/22

    摘要： 本发明涉及的液位计(30)具备第一测温电阻元件(R11)；配置在第一测温电阻元件的附近的第一温度测定元件(R12)；根据第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度检测液面的位置的液面检测部(39)，检测第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度的温度检测部(37)，按照温度检测部检测到的第一测温电阻元件的温度与第一温度测定元件的温度的差成为第一定值的方式，决定施加到第一测温电阻元件的电流值的电流控制部(38)；和将所决定的电流值的电流施加到第一测温电阻元件的电源部(32)，液面检测部使用施加到第一测温电阻元件的电流值，判定第一测温电阻元件存在于液体中还是存在于液体外。由此，能够不受周围温度的影响地进行液面检测，由于按固定温度差进行温度控制，所以不会对测温电阻元件施加必要以上的电力，能够实现长寿命化。

    气化供给装置
    8.
    发明授权
    气化供给装置 失效

    公开(公告)号：CN107532298B

    公开(公告)日：2019-07-26

    申请号：CN201680007156.X

    申请日：2016-04-11

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  平尾圭志

    IPC分类号： C23C16/448 ,  B01J4/00 ,  B01J7/02 ,  C23C16/52 ,  H01L21/31

    摘要： 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

    原料气化供给装置
    9.
    发明授权
    原料气化供给装置 有权

    公开(公告)号：CN104822858B

    公开(公告)日：2017-08-01

    申请号：CN201380057690.8

    申请日：2013-11-20

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一

    IPC分类号： C23C16/448 ,  H01L21/31

    CPC分类号： C23C16/4485 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4482 ,  C23C16/52 ,  F17C9/02 ,  F22B1/284 ,  F22B1/285

    摘要： 本发明涉及原料气化供给装置，无论是固体原料还是液体原料，都是使几乎全部原料气体不发生热分解地成为期望的高温、高蒸气压的原料气体，从而能够将高纯度且达到期望浓度的原料气体以高精度进行流量控制同时向处理腔稳定地供给。本发明的原料气化供给装置由原料收纳罐、对从液体收纳罐压送而来的液体进行气化的气化器、对来自气化器的原料气体的流量进行调整的流量控制装置、以及对气化器、高温型压力式流量控制装置及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的流路的期望部分进行加热的加热装置构成，至少针对所述原料收纳罐、气化器、流量控制装置、将所述各设备装置之间加以连结的流路以及介设于流路中的开闭阀中的任一个的金属表面的各液体接触部或气体接触部，实施了Al2O3钝化处理或Cr2O3钝化处理或FeF2钝化处理。