发明授权
CN103858212B 气化器
失效 - 权利终止
- 专利标题： 气化器
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申请号： CN201280047608.9申请日： 2012-07-24
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公开(公告)号： CN103858212B公开(公告)日： 2016-06-08
- 发明人: 大见忠弘 , 白井泰雪 , 永濑正明 , 山下哲 , 日高敦志 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
- 申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 株式会社富士金,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人： 株式会社富士金,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 肖日松; 李婷
- 优先权： 2011-216885 2011.09.30 JP
- 国际申请： PCT/JP2012/004702 2012.07.24
- 国际公布： WO2013/046517 JA 2013.04.04
- 进入国家日期： 2014-03-28
- 主分类号： H01L21/205
- IPC分类号： H01L21/205 ; C23C16/448
摘要：
本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
公开/授权文献
- CN103858212A 气化器 公开/授权日：2014-06-11
IPC分类:
