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公开(公告)号：CN109478074B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201780015751.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。
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公开(公告)号：CN108369425B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN108027618B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003168B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201580044670.6
申请日：2015-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/455 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。
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公开(公告)号：CN107003169B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201580054407.5
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22
Abstract: 本发明涉及的液位计(30)具备第一测温电阻元件(R11)；配置在第一测温电阻元件的附近的第一温度测定元件(R12)；根据第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度检测液面的位置的液面检测部(39)，检测第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度的温度检测部(37)，按照温度检测部检测到的第一测温电阻元件的温度与第一温度测定元件的温度的差成为第一定值的方式，决定施加到第一测温电阻元件的电流值的电流控制部(38)；和将所决定的电流值的电流施加到第一测温电阻元件的电源部(32)，液面检测部使用施加到第一测温电阻元件的电流值，判定第一测温电阻元件存在于液体中还是存在于液体外。由此，能够不受周围温度的影响地进行液面检测，由于按固定温度差进行温度控制，所以不会对测温电阻元件施加必要以上的电力，能够实现长寿命化。
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公开(公告)号：CN107532298B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN109074104A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN108885471A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780004761.6
申请日：2017-03-23
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。
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