公开(公告)号：CN118786400A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202380024208.4

申请日：2023-03-15

申请人： 株式会社富士金 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  小川慎也 ,  井手口圭佑 ,  池田信一 ,  泽地淳

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(10)的排气结构，其具备：流量控制装置(10)，其具备：形成有连通流体入口(13i)和流体出口(13o)的主体流路(13)的主体(11)；设置在主体流路上的控制阀(12)；设置在控制阀的下游的节流部(14)；以及测定控制阀与节流部之间的压力的压力传感器(16)；向流量控制装置供给气体的气体源(2)；在气体源与流量控制装置之间的气体供给路径上的分支点(A)分支的排气路径(4)，在比分支点靠上游的气体供给路径(3)配设第一阀(V1)，并且在排气路径配设第二阀(V2)，在从控制第一流量的状态变更为第二流量的控制时，在控制阀(12)打开的状态下，关闭第一阀(V1)并且打开第二阀(V2)，由此将积存在从控制阀到节流部之间的气体从排气路径(4)排出。

公开(公告)号：CN108885471B

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN201780004761.6

申请日：2017-03-23

申请人： 株式会社富士金

发明人： 永濑正明 ,  平田薰 ,  泽田洋平 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06 ,  G05B23/02

摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。

公开(公告)号：CN109478074A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780015751.2

申请日：2017-07-25

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  池田信一 ,  西野功二

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。

公开(公告)号：CN108027618A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680027495.4

申请日：2016-09-15

申请人： 株式会社富士金

发明人： 杉田胜幸 ,  西野功二 ,  平田薰 ,  泷本昌彦 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/36

摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。

公开(公告)号：CN103518165B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201280022338.6

申请日：2012-04-05

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  杉田胜幸

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0623 ,  F16K37/0083 ,  G01F1/36 ,  G01F1/363 ,  G01F1/50 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6965 ,  G01F5/00 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0007 ,  G05D7/0617 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/0368 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

摘要： 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。

公开(公告)号：CN105102872A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480004462.9

申请日：2014-04-09

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  日高敦志 ,  永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  杉田胜幸 ,  广濑隆

IPC分类号： F16L55/00 ,  G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0635 ,  F16L55/02718

摘要： 本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P2/P1变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。

公开(公告)号：CN101484859B

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN200780025188.3

申请日：2007-06-13

申请人： 株式会社富士金

发明人： 永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  松本笃咨

IPC分类号： G05D7/06 ,  G01F3/22 ,  G01F1/00

CPC分类号： G05D7/0635 ,  G01F1/36 ,  G01F15/005 ,  G01F15/022

摘要： 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。

公开(公告)号：CN113647008A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202080025996.5

申请日：2020-04-20

申请人： 株式会社富士金

发明人： 日高敦志 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： H02N2/06 ,  G01N27/00 ,  H01L41/04

摘要： 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部，第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小，测定部在从电源部供给规定电压的状态下，测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压)，控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值，基于所计算出的电阻值，判定压电元件是否发生了劣化。

公开(公告)号：CN111989635A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201980025060.X

申请日：2019-04-19

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制方法，其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行，所述流量控制方法包含：步骤(a)，基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度，并且维持打开第二控制阀的状态，从流体以第一流量流动的状态起，关闭第一控制阀的开度；以及步骤(b)，基于压力传感器的输出，通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。

公开(公告)号：CN106687728B

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201580039826.1

申请日：2015-08-17

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： F16K31/02 ,  F16K7/14 ,  H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09

摘要： 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。