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公开(公告)号：CN111836985A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201980016155.5
申请日：2019-02-19
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有：阀座(41)，其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围；隔膜(5)，其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭；按压转接器(6)，其与隔膜(5)的周缘部接触；壳体(2)，其内置有使隔膜(5)动作的致动器，与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3)；以及转接器固定环(7)，其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压，并且固定在阀体(3)内。
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公开(公告)号：CN108369425A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN102483180A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080037326.1
申请日：2010-11-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/524 , F16K31/04 , F16H25/14 , F16K7/16
CPC classification number: F16K7/16 , F16K31/047 , F16K31/52408
Abstract: 本发明提供了一种当向上下方向对安装了凸轮的马达进行高度调整时容易接近调整螺丝的凸轮式控制阀。该凸轮式控制阀具备：具有流体流路(2)和阀座(3)的阀箱(4)、就位于阀座(3)或离开阀座(3)而开闭流体流路(2)的阀体(5)、压下阀体(5)并使该阀体抵接于阀座(3)的阀棒(6)、作用于阀棒(6)而压下阀棒(6)的凸轮(7)、对凸轮(7)进行旋转驱动的马达(8)、保持马达(8)的马达保持器(9)、固定于阀箱(4)并以能够上下移动的方式支撑马达保持器(9)的支撑框(10)、沿着使马达保持器(9)从支撑框(10)的上边部离开的方向驱使该马达保持器的弹性部件(11)以及用于将马达保持器(9)以悬挂状支撑于支撑框(10)并调整马达保持器(9)相对于支撑框(10)的高度的高度调整螺丝(12)，该高度调整螺丝(12)以能够滑动的方式插入支撑框(10)的上边部并拧入马达保持器(9)。
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公开(公告)号：CN101512202B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200780032360.8
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/524 , F16K1/00 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K41/10
CPC classification number: F16K31/04 , F16K7/16 , F16K31/52491
Abstract: 一种凸轮式阀，将包括步进马达以及凸轮机构的促动器沿上下方向微调而能够简单且容易地进行阀的零点调节。一种步进马达驱动型的凸轮式阀(1)，在具有流入通路(2a)、流出通路(2b)、阀室(2c)以及阀座(2d)的机身(2)内升降自如地配设轴杆(7)，利用促动器使上述轴杆(7)下降，所述促动器包括：配设于轴杆的上方位置的步进马达(9)以及将步进马达(9)的旋转运动变换为直线运动而向轴杆(7)传递的凸轮机构(10)，使配设在阀室(2c)内的膜片(3)或者设置在轴杆(7)的下端部的阀体(30)向阀座(2d)抵接，其特征在于，在覆盖上述机体(2)的阀室(2c)的阀盖(5)上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构(11)，在该升降支承机构(11)上设置微调相对于轴杆(7)的促动器的高度位置的高度微调机构(12)。
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公开(公告)号：CN101652592A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200880011029.2
申请日：2008-03-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14
Abstract: 在压电促动器(16)收缩时缓解在压电元件上产生的张力，即使在高温环境下也能够进行稳定的流量控制。本发明的压电元件驱动式控制阀包括如下部分：具有阀座(8d)的主体(8)；抵接或离开阀座(8d)的金属隔膜(9)；自由升降地支撑于主体(8)侧的促动器盒(13)；固定在主体(8)侧的分割基座(11)；向下方推压并驱策促动器盒(13)而使金属隔膜(9)抵接阀座(8d)的碟形弹簧(15)；以及容纳在促动器盒(13)内、因电压的施加向上方伸长并逆着碟形弹簧(15)的弹性力上推促动器盒(13)的压电促动器(16)，其中，在分割基座(11)和压电促动器(16)之间设有始终在压电促动器(16)的压电元件上施加压缩力的预压机构(20)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108885471B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201780004761.6
申请日：2017-03-23
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。
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公开(公告)号：CN110234965A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201880009200.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。
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公开(公告)号：CN109477586A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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公开(公告)号：CN104321710A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380021770.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/524
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/52491 , Y10T137/87917
Abstract: 可变流孔型压力控制式流量控制器具备压力控制部和可变流孔部，使流通于可变流孔部的流孔的流体的流量为QP1=KP1(但是，P1是流孔上游侧压力，K是常数)而运算，并且，使前述流孔为由直接碰触型金属隔膜阀的阀座与隔膜之间的环状的间隙构成的流孔，通过向前述压力控制部的流量运算控制部的设定流量信号(QS)和向可变流孔部的流孔开度运算控制部的流孔开度设定信号(Qz)的变更而进行流量控制范围的切换以及该流量控制范围中的流量控制，其中，由流孔开度运算控制部、通过来自流孔开度运算控制部的流孔控制信号而驱动的步进电动机、通过步进电动机而转动的偏芯凸轮、通过偏芯凸轮而经由隔膜压件来控制阀开度的直接碰触型金属隔膜阀构成前述可变流孔部。
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