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公开(公告)号：CN107925368B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201680030926.2
申请日：2016-08-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H02N2/04 , F16K31/02 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备：积层压电致动器；支撑积层压电致动器，并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件；沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件；以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部，位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状，在各位移传递部件的下端部，以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔，在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。
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公开(公告)号：CN102812275A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201080065200.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K37/00
CPC classification number: F16K7/14 , F16K31/1225 , F16K31/1226
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认。外壳(3)以在上方开口的方式形成，在阀杆(7)位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳(3)的开口露出的方式在阀杆(7)上端部设置活塞(8)。
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公开(公告)号：CN102265043A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152480.0
申请日：2009-11-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L23/20 , F15D1/025 , G01F1/40 , G01F1/42 , G05D7/0635
Abstract: 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。
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公开(公告)号：CN102037423A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200980118159.0
申请日：2009-03-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
Abstract: 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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公开(公告)号：CN101208641A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200680023200.2
申请日：2006-06-22
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大见忠弘 , 斋藤雅仁 , 日野昭一 , 岛津强 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永濑正明 , 杉田胜幸 , 平田薰 , 土肥亮介 , 广濑隆 , 筱原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
CPC classification number: G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105556411A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480049537.5
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
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公开(公告)号：CN104737086A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380057366.6
申请日：2013-10-18
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
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公开(公告)号：CN102770697B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080062408.1
申请日：2010-11-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K31/124 , G05D7/00
CPC classification number: F16K31/124 , F16K31/1226 , F16K37/0066 , G05D7/0635
Abstract: 本发明提供一种可以使组合有阀和限位开关的流体控制器小型化的流体控制器。阀(6)具有从壳体(21)的开口突出的突出部，以及作为移动部件的活塞(26)，该活塞(26)随着阀(6)的开闭直线移动而抵接于限位开关(7)。限位开关(7)面对活塞(26)，以能够通过限位开关定位机构(8)调整位置的方式安装。限位开关定位机构(8)具有：固定于主体(2)上的第一螺栓(42)，固定于限位开关(7)上的第二螺栓(43)，以及连接两螺栓(42，43)的连接螺柱(44)，第一螺栓(42)和第二螺栓(43)的螺距不同。
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公开(公告)号：CN102265043B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN200980152480.0
申请日：2009-11-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L23/20 , F15D1/025 , G01F1/40 , G01F1/42 , G05D7/0635
Abstract: 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。
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公开(公告)号：CN101253458B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200680031240.1
申请日：2006-05-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
CPC classification number: F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
Abstract: 本发明的目的在于，不分解、组装压力式流量控制装置，就能简单地更换其节流器，从而可容易地进行控制流量的切换。本发明的节流器更换型压力式流量控制装置，在具有流体供给用配管的连接部的入口侧安装用块(39)和具有流体取出用配管的连接部的出口侧安装用块(43)之间，配置压力式流量控制装置(A)的控制阀(2)的阀体(23)，通过使该阀体(23)的流体入口侧与前述入口侧安装用块(39)、前述阀体(23)的流体出口侧与前述出口侧安装用块(43)分别能够分解地以气密状态连接，形成气体通过前述控制阀(2)流通的流路，并且，在设置于前述阀体(23)的出口侧的垫片型节流器插入孔(42c)与出口侧安装用块(43)的垫片型节流器插入孔(43b)之间，拆装自如地插入压力式流量控制装置(A)的垫片型节流器(38)。
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