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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN112673204A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058334.5
申请日：2019-09-10
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够容易地更换阀芯单元的技术。利用握把(8)产生的驱动力使杆(4)、嵌合圈部件(5)以及阀芯单元向阀座(2d)侧移动，通过按压更换环(7)，更换环(7)一边缩径一边在阀盖(3)内移动，并且成为自由状态而向凸缘部(13B)落下，利用握把(8)产生的驱动力，使杆(4)、嵌合圈部件(5)、阀芯单元(10)以及更换环(7)向阀座(2d)侧的相反侧移动，从而使更换环(7)的上表面(7B)与阀盖(3)的下表面(3C)抵接，并且，在使凸缘部(13B)与更换环(7)抵接的状态下，利用握把(8)的驱动力，仅使杆(4)以及嵌合圈部件(5)向阀座(2d)侧的相反侧移动，通过连结部件(11)的连结槽(11c)使连结环(6)扩径，而构成为阀芯单元(10)从杆(4)脱离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110023659A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
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公开(公告)号：CN112334695A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980040514.0
申请日：2019-06-03
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够放大压电元件的位移量且能够实现阀的常闭状态的技术。在位移放大机构(30)中，在与杆(7)的轴正交的方向上，作为第一力点部的屈曲部(31H)位于作为第一支点部的外端部(31F)与作为第一作用点部的内端部(31G)之间，作为第二支点部的屈曲部(34H)位于作为第二力点部的外端部(34F)与作为第二作用点部的内端部(34G)之间，屈曲部(34H)与内端部(34G)的距离构成为比屈曲部(34H)与外端部(34F)的距离更长。另外，通过中间部件(33)向各第二杠杆(34)侧的位移，各第二杠杆(34)的内端部(34G)朝向杆(7)位移，并使杆(7)朝向压电元件(5)移动。
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公开(公告)号：CN110023659B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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