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公开(公告)号：CN113366253A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080012063.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K7/16 , F16K7/17 , F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使操作构件(40)向开位置(OP)或闭位置(CP)移动；调整用致动器(100)，其利用与被施加的输入信号相应地收缩的被动元件，并且，用于对被定位于开位置(OP)的操作构件(40)的位置进行调整；位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位置；以及原点位置确定部，其利用隔膜(20)与阀座(15)抵接的闭阀状态来确定位置检测机构(85)的原点位置。
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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN111373182A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880074687.X
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用限位开关就能够对阀的开闭状态进行检测的阀装置的控制装置。阀装置(1)具有对供流体流通的流路进行开闭的隔膜(20)、向流路的关闭方向对隔膜(20)施力的螺旋弹簧(90)、进行驱动以克服螺旋弹簧(90)的施力的主致动器(60)、以及利用了压电元件的调整用致动器(100)，该压电元件用于调整流路的基于隔膜(20)的开度，控制器(200)基于调整用致动器(100)的压电元件产生的电压来对流路的开闭状态进行检测，并且利用该检测信号对阀装置(1)进行控制。
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公开(公告)号：CN111164341A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880062421.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/12 , F16K31/02 , H01L21/02 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯引起的流路的开度调整相关的调整信息；以及控制部(220)，其基于该调整信息驱动调整用驱动器(100)而调整操作构件的位置。
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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN112673204A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058334.5
申请日：2019-09-10
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够容易地更换阀芯单元的技术。利用握把(8)产生的驱动力使杆(4)、嵌合圈部件(5)以及阀芯单元向阀座(2d)侧移动，通过按压更换环(7)，更换环(7)一边缩径一边在阀盖(3)内移动，并且成为自由状态而向凸缘部(13B)落下，利用握把(8)产生的驱动力，使杆(4)、嵌合圈部件(5)、阀芯单元(10)以及更换环(7)向阀座(2d)侧的相反侧移动，从而使更换环(7)的上表面(7B)与阀盖(3)的下表面(3C)抵接，并且，在使凸缘部(13B)与更换环(7)抵接的状态下，利用握把(8)的驱动力，仅使杆(4)以及嵌合圈部件(5)向阀座(2d)侧的相反侧移动，通过连结部件(11)的连结槽(11c)使连结环(6)扩径，而构成为阀芯单元(10)从杆(4)脱离。
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公开(公告)号：CN113423987A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080012062.8
申请日：2020-01-23
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K7/17 , F16K31/122 , H01L21/02
Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。
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公开(公告)号：CN112534166A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050812.8
申请日：2019-05-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够以更加准确的流量稳定地供给且抑制了装置间流量的偏差的阀装置。该阀装置具有：阀体(2)；阀座(48)；金属合金制的内盘(3)，其具有内侧环状部(32)、外侧环状部(31)、以及将内侧环状部(32)和外侧环状部(31)连接的连接部(37)；金属合金制的隔膜(41)，其以覆盖内盘(3)以及阀座(48)的方式设置，通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22、23)之间的连通以及切断；以及按压转接器(43)，其将隔膜(41)的周缘部朝向外侧环状部(31)按压，内盘(3)具有比阀座(48)的硬度高的硬度，并且具有比阀体(2)以及隔膜(41)这两者的硬度低的硬度。
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