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公开(公告)号：CN111033104B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN112334696A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980043717.5
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(10)，其划定供流体流通的流路(11)和在该流路的中途向外部开口的开口部(12)；挠性分隔壁构件(21)，其覆盖开口部(12)并将流路(11)和外部隔开，且改变流路(11)的截面积；挠性支承构件(22)，其配置于挠性分隔壁构件(21)的与流路侧相反的背面侧；壳体(41)，其隔着挠性分隔壁构件(21)的周缘部和挠性支承构件(22)的周缘部而固定于阀体(10)；以及湿度传感器(100)，其检测挠性支承构件(22)和壳体(41)的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。
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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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公开(公告)号：CN110382934A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015079.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17 , F16K37/00
Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括：信息处理模块(5)，其设置在设备内；阀体(11)，其具有流路；致动器机体(12)，其固定于阀体(11)；壳体(13)，其为中空，固定于致动器机体(12)，并在侧面形成有贯通孔(133d)；活塞(126)，其设置在致动器机体(12)内，并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b)；以及导入管(21)，其为导入驱动压的管，一端插入至驱动压导入路(126b)，另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。
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公开(公告)号：CN112119249A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980032068.9
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在流体控制设备中即使流体的漏出微小的情况下也能够高精度地探测到漏出的技术。流体控制设备(V1)具有：阀主体(1)，形成有流路；隔膜(22)，将封闭空间(S2)从流路隔离；阀盖(24)，与隔膜(22)之间形成封闭空间(S2)，并且该阀盖设置有贯插孔(241a)，该贯插孔与封闭空间(S2)连通且供隔膜压件(23)能够上下移动地进行贯穿插入；隔膜压件(23)，在贯插孔(241a)内上下移动来按压隔膜(22)，并且设置有使得所述隔膜压件(23)不能从贯插孔(241a)拔出的扩径部(232)；压力传感器(P)，检测封闭空间(S2)内的压力；以及弹性体(6)，在封闭空间(S2)内夹设于隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间，伴随着隔膜压件(23)的上下移动而在隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间弹性地膨胀收缩。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111989514A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980025634.3
申请日：2019-06-04
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够获取与设备的内部动作相关的数据的流体控制设备。流体控制设备(V)具有：机罩部(2)，安装有用于检测流体控制设备(V)内的动作的传感器(M1、M2、P)；以及阀主体(1)，其在内部收容机罩部(2)，在阀主体(1)设置有：凹部(12a)，其用于收容机罩部(2)；以及狭缝(12b)，其供与传感器(M1、M2、P)连接的通信用的线缆(51)向外侧导出，并且所述狭缝(12b)的与形成有流路的基台部(11)相反侧的一端开口且从外侧向凹部(12a)侧贯通。
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公开(公告)号：CN110352340A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880015080.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信，流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构，服务器(72)具有：判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721)；收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724)；存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725)；参照信息存储部(725)，并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726)；以及通过对比提取到的信息，对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。
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公开(公告)号：CN113423987A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080012062.8
申请日：2020-01-23
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K7/17 , F16K31/122 , H01L21/02
Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。
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公开(公告)号：CN113195165A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980082441.1
申请日：2019-11-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: B25B23/14 , G06Q10/06 , G05B19/418
Abstract: 提供一种作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统，在使用带扭矩传感器的工具进行的拧紧作业中，能够准确地管理全部紧固部件的位置、拧紧扭矩等信息。具有具备扭矩传感器(30)的旋具(1)以及从不同的视点拍摄产品的第一摄像机和第二摄像机(400A、400B)，其中，当检测出的拧紧扭矩超过设定阈值时，扭矩传感器(30)开始测定拧紧扭矩，当测定数据满足规定条件时，扭矩传感器(30)结束对拧紧扭矩的测定，并输出包含测定时刻的扭矩关联数据，作业管理装置还具有：PC(300)，其根据与扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的由第一摄像机和第二摄像机(400A、400B)拍摄到的多个图像数据，来计算头部(20)的嵌合位置的坐标；以及标记安装件(80)，其设置有标记，以能够卸下的方式安装于头部。
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公开(公告)号：CN113167406A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980077177.2
申请日：2019-11-19
IPC: F16K31/06
Abstract: 提供一种电磁阀、阀、流体控制装置、及电磁阀更换方法，即使在将阀集成设置的装置中使用也能够抑制该装置的大型化。电磁阀(30)具备：壳体(31)、容纳于壳体(31)且具备卷绕有线圈(34)的绕线管(33A)的螺线管、设置在绕线管(33A)的轴上且配置为能够沿着轴向移动的可动体(36A)、设置在绕线管(33A)的轴上且固定在壳体(31)内的固定部(35)、以及设置为能够与可动体(36A)一起移动并对驱动流体通路进行开闭的上阀芯(36D)。流入端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的上表面(31K)侧开口，流出端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的下表面(31E)侧开口。
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