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公开(公告)号：CN113167406A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980077177.2
申请日：2019-11-19
IPC分类号： F16K31/06
摘要： 提供一种电磁阀、阀、流体控制装置、及电磁阀更换方法，即使在将阀集成设置的装置中使用也能够抑制该装置的大型化。电磁阀(30)具备：壳体(31)、容纳于壳体(31)且具备卷绕有线圈(34)的绕线管(33A)的螺线管、设置在绕线管(33A)的轴上且配置为能够沿着轴向移动的可动体(36A)、设置在绕线管(33A)的轴上且固定在壳体(31)内的固定部(35)、以及设置为能够与可动体(36A)一起移动并对驱动流体通路进行开闭的上阀芯(36D)。流入端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的上表面(31K)侧开口，流出端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的下表面(31E)侧开口。
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公开(公告)号：CN112189171A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201980032055.1
申请日：2019-07-16
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线或流体控制装置整体精密地进行监控。在集成多个流体控制设备(A)而构成的流体控制装置(G)中，流体控制设备(A)具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储部(71)，其存储自身识别信息；以及通信处理部(72)，其按每个流体控制设备(A)在不同定时将由动作信息获取机构获取到的动作信息与存储于识别信息存储部(71)的自身识别信息一起发送给外部终端。
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公开(公告)号：CN110352340B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880015080.4
申请日：2018-03-13
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信，流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构，服务器(72)具有：判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721)；收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724)；存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725)；参照信息存储部(725)，并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726)；以及通过对比提取到的信息，对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。
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公开(公告)号：CN112119291A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980032117.9
申请日：2019-07-16
申请人： 株式会社富士金
摘要： 在流体控制设备中，即使在流体的漏出微小的情况下也能够检测漏出。另外，将流体的漏出异常识别为伴随流体控制设备的动作的变化，以高精度检测流体的漏出。能够检测异常的流体控制设备(V1)设置有流路和通过隔膜(22)与流路隔离的封闭空间(S2)，具有检测封闭空间(S1)内的压力的压力传感器(P)、执行给定的信息处理的处理模块以及检测流体控制设备(V1)的动作的动作检测机构，处理模块执行如下处理：通过对由压力传感器(P)检测出的检测值与给定的阈值进行比较来判别流体控制设备(V1)的异常的判别处理、以及根据流体控制设备(V1)的动作来校正给定的阈值的校正处理。
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公开(公告)号：CN111201396A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880066457.9
申请日：2018-10-05
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器(52)的内侧的与阀杆(53)对置的面，检测与磁铁(M1)之间的距离变化。进而，异常判定单元将由磁性传感器(M2)检测出的异常诊断时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化与预先测量出的正常时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN110914773A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880032768.3
申请日：2018-05-15
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05B19/418 , G05B23/02
摘要： 在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。此外，能够容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。在管理者终端(3)和信息处理装置(2)被构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信的系统中，管理者终端(3)从信息处理装置(2)接收半导体制造装置(1)的部件信息。利用确定处理部(32)针对半导体制造装置(1)的拍摄图像确定构成半导体制造装置(1)的部件的位置时，利用合成处理部(33)针对拍摄图像生成使部件信息与所确定的部件的位置合成而成的合成图像，利用图像显示部(34)显示合成图像。另一方面，信息处理装置(2)参照部件信息存储部(2A)，由提取处理部(21)提取部件信息，对管理者终端(3)发送部件信息。
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公开(公告)号：CN110192054A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201780083256.5
申请日：2017-11-02
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K31/44 , F16K1/32 , H01L21/3065
摘要： 提供一种阀及半导体制造装置，其即使在高温下使用也不会产生烧熔等而能够长时间使用，并且不会污染腔室内。阀(1)具备：增力机构(30)，其增大驱动力；第一阀杆(25)及第二阀杆(26)，其承受增力机构(30)增大的力进行移动；以及隔膜(11)，其能够对流体通路(2b、2c)进行开关。增力机构(30)具备：保持器(31)及轴承(32)；轴(33)，其两端支撑于轴承(32)；以及臂(34)，其被轴(33)支撑成能够摆动，并具有承受驱动力的外端部(34C)和增大驱动力并向第一阀杆(25)传递的内端部(34B)，在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)以及臂(34)中，构成利用臂(34)的摆动而产生的滑动部的轴(33)的两端部和轴承(32)之中，轴承(32)由碳纤维复合材料构成。
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公开(公告)号：CN111033104B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN109983318B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201880004412.9
申请日：2018-02-06
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。
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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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