作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统

    公开(公告)号:CN113195165A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201980082441.1

    申请日:2019-11-25

    Abstract: 提供一种作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统,在使用带扭矩传感器的工具进行的拧紧作业中,能够准确地管理全部紧固部件的位置、拧紧扭矩等信息。具有具备扭矩传感器(30)的旋具(1)以及从不同的视点拍摄产品的第一摄像机和第二摄像机(400A、400B),其中,当检测出的拧紧扭矩超过设定阈值时,扭矩传感器(30)开始测定拧紧扭矩,当测定数据满足规定条件时,扭矩传感器(30)结束对拧紧扭矩的测定,并输出包含测定时刻的扭矩关联数据,作业管理装置还具有:PC(300),其根据与扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的由第一摄像机和第二摄像机(400A、400B)拍摄到的多个图像数据,来计算头部(20)的嵌合位置的坐标;以及标记安装件(80),其设置有标记,以能够卸下的方式安装于头部。

    流体控制设备的动作分析系统、方法以及计算机程序

    公开(公告)号:CN110352340A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201880015080.4

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据,并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信,流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构,服务器(72)具有:判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721);收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724);存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725);参照信息存储部(725),并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726);以及通过对比提取到的信息,对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。

    流体控制装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109563942A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780039064.4

    申请日:2017-06-19

    Abstract: 本发明提供一种流体控制装置,其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化,并且能够大幅度削减组装工时,还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置,下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置,在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f),该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分,使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。

    流体控制装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109312874A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201780039076.7

    申请日:2017-06-19

    Abstract: 本发明提供一种流体控制装置,其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化,并且能够大幅度削减组装工时,还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c),接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上,流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50),具有螺纹孔(25a),贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a),接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下,在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩,螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭,并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。

    流体控制设备
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110382934B

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN201880015079.1

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外,能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括:信息处理模块(5),其设置在设备内;阀体(11),其具有流路;致动器机体(12),其固定于阀体(11);壳体(13),其为中空,固定于致动器机体(12),并在侧面形成有贯通孔(133d);活塞(126),其设置在致动器机体(12)内,并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b);以及导入管(21),其为导入驱动压的管,一端插入至驱动压导入路(126b),另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。

    阀装置和气体供给系统
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112930454A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201980070726.3

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置,该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有:阀体(3),其收纳于收纳凹部(35),并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2);以及阀盖螺母(20),其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合,由此,将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压,并且将该阀体(3)固定于流路块(30),阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b),所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。

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