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公开(公告)号：CN108604100B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201780009508.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力控制装置及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，也能够在早期将腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置(1)具备：CPU(18)，其在为了使腔室(3)内部成为负压而向腔室(3)内部供给气体的情况下，以规定的比率从设定压力信号减去流量信号；比较电路(21)，其对检测压力信号和进行了减去的设定压力信号进行比较，该检测压力信号表示由压力传感器(4)检出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其基于比较电路(21)的比较结果来控制流量控制阀(14)。
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公开(公告)号：CN108351655B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201680062337.2
申请日：2016-08-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。
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公开(公告)号：CN103797563B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201280043162.2
申请日：2012-07-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F17D3/00 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , G05D11/135 , Y10T137/8158
Abstract: 本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料，与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度，实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气GK，由来源罐5内释放载气GK，与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气GK的混合气体GS供给至处理室的原料气化供给装置，其中，在来自于上述来源罐5的混合气体GS的流出通路上设置自动压力调整装置8，与此同时在其下游侧设置质量流量计9，通过开闭控制上述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P0控制为规定值，将由上述质量流量控制器3所致的载气GK的流量Q1、上述罐内压力P0和上述质量流量计9的混合气体GS的流量QS的各自检测值输入原料浓度运算部10，在该原料浓度运算部10按Q2=QS×PM0/P0运算原料流量Q2(其中，PM0为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压)，利用该原料流量Q2按K=Q2/QS运算、显示供给至上述处理室的混合气体GS的原料气体蒸气浓度K。
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公开(公告)号：CN108604100A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009508.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力控制装置及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，也能够在早期将腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置(1)具备：CPU(18)，其在为了使腔室(3)内部成为负压而向腔室(3)内部供给气体的情况下，以规定的比率从设定压力信号减去流量信号；比较电路(21)，其对检测压力信号和进行了减去的设定压力信号进行比较，该检测压力信号表示由压力传感器(4)检出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其基于比较电路(21)的比较结果来控制流量控制阀(14)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108351655A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680062337.2
申请日：2016-08-11
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K27/00 , G05D7/06 , G05D11/03 , G05D11/132
Abstract: 本发明提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。
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公开(公告)号：CN107003684A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201680003808.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。
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公开(公告)号：CN103797563A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201280043162.2
申请日：2012-07-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F17D3/00 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , G05D11/135 , Y10T137/8158
Abstract: 本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料，与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度，实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气GK，由来源罐5内释放载气GK，与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气GK的混合气体GS供给至处理室的原料气化供给装置，其中，在来自于上述来源罐5的混合气体GS的流出通路上设置自动压力调整装置8，与此同时在其下游侧设置质量流量计9，通过开闭控制上述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P0控制为规定值，将由上述质量流量控制器3所致的载气GK的流量Q1、上述罐内压力P0和上述质量流量计9的混合气体GS的流量QS的各自检测值输入原料浓度运算部10，在该原料浓度运算部10按Q2=QS×PM0/P0运算原料流量Q2(其中，PM0为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压)，利用该原料流量Q2按K=Q2/QS运算、显示供给至上述处理室的混合气体GS的原料气体蒸气浓度K。
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公开(公告)号：CN113544620A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202080018374.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 得到响应精度高的流量控制装置。流量控制装置(1)具备：流量传感器(102)，其测量流体的流量；以及控制部(104)，其调整流量以使流体的流量成为流量设定值，控制部具备：控制阀(105)，其使流量变化；驱动电路(41)，其驱动控制阀；传感器灵敏度调整电路(43)，其对流量传感器的测量值的频率特性进行修正；以及第一滤波器(44)，其使传感器灵敏度调整电路的输出的、规定的频带衰减，流量控制装置(1)构成有包括驱动电路、流量传感器、传感器灵敏度调整电路以及第一滤波器的反馈回路，流量设定值与第一滤波器的输出值的偏差被输入至驱动电路。
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公开(公告)号：CN107003684B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680003808.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。
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