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公开(公告)号：CN108604100A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009508.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力控制装置及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，也能够在早期将腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置(1)具备：CPU(18)，其在为了使腔室(3)内部成为负压而向腔室(3)内部供给气体的情况下，以规定的比率从设定压力信号减去流量信号；比较电路(21)，其对检测压力信号和进行了减去的设定压力信号进行比较，该检测压力信号表示由压力传感器(4)检出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其基于比较电路(21)的比较结果来控制流量控制阀(14)。
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公开(公告)号：CN108604100B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201780009508.X
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力控制装置及压力控制系统，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积为大的情况下，或是在流量控制阀与腔室之间的配管较长的情况下，也能够在早期将腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置(1)具备：CPU(18)，其在为了使腔室(3)内部成为负压而向腔室(3)内部供给气体的情况下，以规定的比率从设定压力信号减去流量信号；比较电路(21)，其对检测压力信号和进行了减去的设定压力信号进行比较，该检测压力信号表示由压力传感器(4)检出的腔室(3)内部的压力；以及阀驱动电路(22)，其基于比较电路(21)的比较结果来控制流量控制阀(14)。
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公开(公告)号：CN107003684A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201680003808.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。
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公开(公告)号：CN113544620A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202080018374.X
申请日：2020-04-23
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 得到响应精度高的流量控制装置。流量控制装置(1)具备：流量传感器(102)，其测量流体的流量；以及控制部(104)，其调整流量以使流体的流量成为流量设定值，控制部具备：控制阀(105)，其使流量变化；驱动电路(41)，其驱动控制阀；传感器灵敏度调整电路(43)，其对流量传感器的测量值的频率特性进行修正；以及第一滤波器(44)，其使传感器灵敏度调整电路的输出的、规定的频带衰减，流量控制装置(1)构成有包括驱动电路、流量传感器、传感器灵敏度调整电路以及第一滤波器的反馈回路，流量设定值与第一滤波器的输出值的偏差被输入至驱动电路。
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公开(公告)号：CN107003684B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680003808.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。
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