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公开(公告)号：CN110998801B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880051985.7
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
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公开(公告)号：CN110998802B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201880052011.0
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。
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公开(公告)号：CN110998803B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201880052631.4
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , B01J4/00 , B05B12/00 , B05C11/10 , B05D3/00
Abstract: 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
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公开(公告)号：CN111448035B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN201880079395.5
申请日：2018-12-03
Applicant: 日本肯耐克科技株式会社 , 株式会社富士金
IPC: B25B23/14 , G05B19/418
Abstract: 提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。
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公开(公告)号：CN113423987A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080012062.8
申请日：2020-01-23
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K7/17 , F16K31/122 , H01L21/02
Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113195165A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980082441.1
申请日：2019-11-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: B25B23/14 , G06Q10/06 , G05B19/418
Abstract: 提供一种作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统，在使用带扭矩传感器的工具进行的拧紧作业中，能够准确地管理全部紧固部件的位置、拧紧扭矩等信息。具有具备扭矩传感器(30)的旋具(1)以及从不同的视点拍摄产品的第一摄像机和第二摄像机(400A、400B)，其中，当检测出的拧紧扭矩超过设定阈值时，扭矩传感器(30)开始测定拧紧扭矩，当测定数据满足规定条件时，扭矩传感器(30)结束对拧紧扭矩的测定，并输出包含测定时刻的扭矩关联数据，作业管理装置还具有：PC(300)，其根据与扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的由第一摄像机和第二摄像机(400A、400B)拍摄到的多个图像数据，来计算头部(20)的嵌合位置的坐标；以及标记安装件(80)，其设置有标记，以能够卸下的方式安装于头部。
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公开(公告)号：CN110709634B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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公开(公告)号：CN112534166A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050812.8
申请日：2019-05-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够以更加准确的流量稳定地供给且抑制了装置间流量的偏差的阀装置。该阀装置具有：阀体(2)；阀座(48)；金属合金制的内盘(3)，其具有内侧环状部(32)、外侧环状部(31)、以及将内侧环状部(32)和外侧环状部(31)连接的连接部(37)；金属合金制的隔膜(41)，其以覆盖内盘(3)以及阀座(48)的方式设置，通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22、23)之间的连通以及切断；以及按压转接器(43)，其将隔膜(41)的周缘部朝向外侧环状部(31)按压，内盘(3)具有比阀座(48)的硬度高的硬度，并且具有比阀体(2)以及隔膜(41)这两者的硬度低的硬度。
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公开(公告)号：CN112189171A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201980032055.1
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线或流体控制装置整体精密地进行监控。在集成多个流体控制设备(A)而构成的流体控制装置(G)中，流体控制设备(A)具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储部(71)，其存储自身识别信息；以及通信处理部(72)，其按每个流体控制设备(A)在不同定时将由动作信息获取机构获取到的动作信息与存储于识别信息存储部(71)的自身识别信息一起发送给外部终端。
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公开(公告)号：CN110832236A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880044044.0
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16F15/02 , F16F15/073 , H02N2/18
Abstract: 提供一种能够搭载各种电子设备并且解决了布线、电池更换的问题的具有发电功能的气动式阀装置。具有：致动器(7)，其具有壳体部(10、11)和可动部(13)，该可动部(13)收纳在利用驱动流体驱动而使阀芯沿着关闭方向或打开方向移动的壳体部(10、11)；弹簧构件(30)，其对可动部(13)向抵抗驱动流体的驱动力的方向施力；以及发电减振单元(100)，其包括利用了压电元件的压电效应的、将由致动器(7)的动作所产生的振动系统的振动转换为电力的发电功能和抑制施加于装置的振动的减振功能。
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