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公开(公告)号：CN1844937B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610026521.X
申请日：2006-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R19/00
Abstract: 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro-Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路，将待测的直流或低频微弱电流输入驱动线圈，置于外加永磁铁产生的强磁场中，驱动线圈将受到洛伦兹力产生的力矩作用，驱动微镜偏离初始位置，利用双光纤准直器对角度非常敏感的特性进行检测，根据光信号的损耗量与扭转角度的关系，经过光电转换与信号处理后测量出电流值。这种MEMS光电检流计，输入端无需放大电路，可达到安培至皮安量级电流的直接准确测量，克服了微弱电流信号放大过程中引起的噪声干扰和漂移等技术问题，同时可以实现输入端与输出端的光电隔离，是一种体积小、结构简单、成本低、可以批量生产和抗震性好的高灵敏度光电检流计。
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公开(公告)号：CN101549848A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910051002.2
申请日：2009-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器的制作方法，其特征在于①首先在斜晶向硅片(1)上利用氢氧化钾腐蚀溶液制作出具有一定倾斜角度的倾斜硅表面(2)和倾斜硅表面(3)；②然后在倾斜硅表面(2)上制作驱动器的下电极；③接着在另一块硅片的表面制作出扭转镜面驱动器的上电极与下电极的隔离空间；④两块硅片进行圆片级的键合工艺，得到完整的键合片，再对键合片的表面进行整体减薄，得到最终的器件层；⑤最后在减薄后的器件层上制作出扭转镜面驱动器的两端固定的支撑梁、驱动器的上电极和扭转微镜面；⑥对整个硅片进行划片后得到单个大角度扭转镜面驱动器。所制作的驱动器由于采用了倾斜电极，可以在减少驱动电压的情况下，实现大角度微镜面扭转。
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公开(公告)号：CN100492025C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200610026522.4
申请日：2006-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R19/02
Abstract: 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到MEMS扭转微镜的线圈中，在MEMS扭转微镜的背面制作反射镜面，镜面将在电磁力矩的作用下绕轴摆动，采用对角度非常敏感的光束耦合方式能够精确测量出镜面摆动角度，就可以获知电流值。这种光学电流传感器将MEMS技术运用到高压大电流检测中，以感应电流驱动，在高压端无需驱动电源，实现了光电隔离，具有体积小、成本低、可批量生产、抗干扰等优点，具有较高的测试精度和灵敏度，是一种具有应用前景的光学电流传感器。
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公开(公告)号：CN101408645A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810203286.8
申请日：2008-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种椭圆光斑的光纤准直器(collimator)。其特征在于：(1)光纤准直器的出射光斑为椭圆形光斑，即在两个垂直方向上的光斑半径不相等；(2)光纤准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(3)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(4)输入光纤可以为单光纤，也可以为双光纤，分别构成单光纤椭圆光斑锁定准直器和双光纤椭圆光斑准直器。利用此种准直器构成的MEMS光衰减器、光开关以及椭圆光斑的2×2开关，使微镜的移动行程大大缩短，适应MEMS光器件的要求，同时该准直器还可以应用于MEMS光纤传感器。
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公开(公告)号：CN1912646A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610030766.X
申请日：2006-09-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/02 , G01R33/032 , G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法，其特征在于所述的磁场传感器是由双端固置式MEMS扭转微镜、磁性敏感薄膜和双光纤准直器构成；金属反馈电极和磁性敏感薄膜之间形成器件扭转间隙；通过调节架，利用光学封装树脂，完成与双光纤准直器的封接。其制作方法特征是利用MEMS技术制作微磁敏感结构与光纤检测技术结合，包括传感器基底及反馈电极制作、传感器磁场薄膜的制作、器件键合、整体减薄及反射镜面的制作以及器件扭转结构释放四大步骤，所提供的磁场传感器最小可敏感到60nT的微弱磁场，灵敏度达0.6dB/μT。有利于批量生产和器件成本的降低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1279386C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN03128875.8
申请日：2003-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种法布里-珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来，并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度，隆低了装配难度，从而保证器件性能。所提供的FP腔体由分解的二块压电块，一上高反膜和一下高反膜构成。上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面，分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。本发明工艺，结构简单，成本低廉，没有细梁等易受外界影响的部件，体积小，易于大批量制作，器件稳定可靠，性能优异。
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公开(公告)号：CN1827522A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610023325.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明涉及一种低温圆片级微型气体盒的制作方法，其特征在于利用苯并环丁烯材料进行材料键合和半导体材料的湿法腐蚀或干法刻蚀技术，在250℃的低温条件下键合，实现芯片级气体盒的圆片级气密性封装键合，包括芯片级原子钟气体盒、高精度磁场传感器气体盒、原子反馈式微光稳频装置的原子气体盒、原子滤光器的原子气体盒或微光学法布里－珀罗腔制作，键合后BCB胶厚度为0.2μm，密封腔体He气的气密性达2.1～5.9×10－4Pa cm3/s，键合强度大于4.65MPa以及热循环可靠性完全达到微电子器件的封装标准。
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公开(公告)号：CN1760706A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510110330.7
申请日：2005-11-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架对光纤和波导进行单向调节，采用探测器直接监控光器件输出芯片，避免了采用调节设备进行光纤和波导的双向精密调节，降低了调节难度；并且利用熔融光纤和波导的手段使得光信号达到低损耗耦合，相对粘胶液固定耦合方法，提高了光器件的可靠性和连接强度。本发明提出的光纤和波导耦合的方法也适用于阵列光纤和阵列波导的熔融耦合。
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公开(公告)号：CN1605893A
公开(公告)日：2005-04-13
申请号：CN200410067932.4
申请日：2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭，形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制，基于这种光栅的衍射原理，可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。本发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺，降低了其制作成本。
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公开(公告)号：CN1587022A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410053563.3
申请日：2004-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下电极施加的电压调节。其制作方法是利用MEMS中的光刻、腐蚀、键合、溅射和等离子硅深刻蚀技术制作一种工艺简单可行，利用静电精密驱动，光插入损耗小，驱动电压低的可用于反射式可调光衰减器的扭转微镜面驱动器。该种微镜面驱动器相对于现有MEMS技术制作出的镜面驱动器，有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高，响应速度快和利于集成的优点。
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