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公开(公告)号：CN102129125B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201110003994.9
申请日：2011-01-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器17由单个堆叠式二轴微镜驱动器16阵列化排布而成。单个堆叠式二轴微镜驱动器16由下电极结构13，中间电极结构14和上电极结构15共三个独立部件构成。其中三个独立部件由以下结构构成：弯曲悬臂梁1、扭转悬臂梁2、扭转悬臂梁3、台阶下电极4、X轴转动方向基底镜面的限位平面5、台阶下电极的引线锚点6、X轴转动方向基底镜面7、X轴转动方向基底镜面的限位凸点8、Y轴转动方向上镜面支撑锚点9Y轴转动方向上镜面10，Y轴转动方向上镜面的限位凸点11、Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点12。
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公开(公告)号：CN102798734B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201110137641.8
申请日：2011-05-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/18 , G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定梳齿以及电极，敏感器件层中的三个独立的敏感质量块分别实现X、Y、Z三轴加速度信号的检测；每个方向的加速度传感器由相应的一个敏感质量块通过仅对检测方向敏感的弹性梁悬挂于支撑框体之间，每个敏感质量块上利用体硅加工工艺制作了多对可动梳齿，支撑框体相应地制作多对固定梳齿，以构成一对差分电容作为敏感电容；不同方向的差分梳齿电容对该方向的加速度信号的响应产生差分电容变化。
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公开(公告)号：CN102323738B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201110203006.5
申请日：2011-07-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明涉及一种采用MEMS工艺制作的槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统。所述的槽型原子气体腔由设有槽的硅片和Pyrex玻璃片键合围成腔体结构构成；该腔体结构用于充入碱金属原子蒸汽和缓冲气体；所述槽的横截面为倒梯形，该槽包括底面和与底面成夹角的侧壁。所述的槽型原子气体腔基于MEMS技术制造，由 单晶硅片通过硅各向异性腐蚀形成硅槽，并通过硅-玻璃阳极键合制作槽型腔，槽型气体腔的侧壁为硅片的{111}晶面。本发明的优点是利用所述的槽型原子气体腔，通过原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加了激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应（Coherent population trapping,CPT）信号的信噪比增强，有利于提高微型CPT原子钟频率稳定度。
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公开(公告)号：CN102200667A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110120151.7
申请日：2011-05-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/21
Abstract: 一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔，高掺杂的体硅电阻加热器，下悬臂梁、上悬臂梁，表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁，金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域，右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括：(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域；(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构；(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构；(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构；(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜，形成光学F-P干涉腔体。所制作的该滤波器具有很好的光学性能，且工艺制作简单，结构可靠性高。
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公开(公告)号：CN101408647B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200810203285.3
申请日：2008-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2 MEMS光开关。其特征在于：(1)光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成；(2)双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的光斑半径不相等；(3)双光纤椭圆光斑准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(4)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(5)椭圆光斑准直器为双光纤准直器，输入光纤为双光纤；(6)MEMS微镜为MEMS梳齿驱动平动微镜；(7)MEMS微镜放置在椭圆光斑准直器出射光束的束腰位置，驱动方向与光斑短轴方向一致。本发明可以大大减小2×2光开关对MEMS微镜驱动行程的要求，几十微米的行程即可获得足够低的光信号串扰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101009519B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200710036833.3
申请日：2007-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种双通结构衍射光栅光信号监测仪，提供的监测仪能快速、实时、在线实现光网络通信信号与光纤传感信号性能的测量，监测与分析，并且实现了高性能光信号监测装置的小型化和智能化。其特征在于：1)在光信号第一次从衍射光栅输出的衍射光束和第二进入衍射光栅之间放置了光学扫描镜，由光学扫描镜和固定的衍射光栅分别完成波长调谐功能和光信号波长色散功能，并且色散滤波直接由同一个衍射光栅完成；2)在光学扫描镜与衍射光栅之间放置一个直角三棱镜，使光信号实现了空间宽度的压缩与扩展，3)在光电转换单元之前放置了标准参考波长单元；4)设立了网络通信接口单元，用户可通过远程终端测量、监测和分析光信号性能特征。
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公开(公告)号：CN100479357C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN02145415.9
申请日：2002-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明一种平面光波导分段布喇格光栅波分复用器/解复用器，其特征是用一定的方法在平面波导上形成折射率变化的二维分布，平面光波导分段布喇格光栅整体位于多条等间距的同心圆弧上，每条圆弧被分段为不连续的周期性小圆弧。沿输入波导的入射光受到折射率变化的调制，使入射光形成布喇格衍射。输入波导与输出波导分别位于罗兰圆上。制作方法是根据确定的参数，采用在硅基SiO2基片上利用紫外光照射引起硅基SiO2波导折射率的变化，结合平面集成光路工艺制作。本发明可制作光通信的波分复用器/解复用器，其结构紧凑、尺寸小、比常规阵列波导光栅工艺易于实现，且性能更好。
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公开(公告)号：CN100445195C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200610023321.9
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种圆片级微机械器件或光电器件的低温气密性封装方法，其特征在于利用苯并环丁烯(BCB)材料针对经过湿法腐蚀或干法刻蚀的半导体材料或玻璃进行250℃低温圆片级气密性键合，键合压力为1-3×10-5Pa，真空度为10-3Pa；通过BCB键合封装的微机械器件和光电器件封装的气密性，气密性达到2.1～5.9×10-4Pa cm3/s He，优于军用标准一个数量级以上；剪切强度在4.65MPa以上，完全达到了微电子器件的封装标准；本发明提供的封装方法适用于谐振式MEMS器件、微加速度计、微陀螺、微热辐射仪等，可以有效的减小器件的阻尼，提高器件系统的品质因数(Q值)，从而提高传感器件的灵敏度，是微机械器件和微光电器件的有效低温圆片级气密性封装方法。
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公开(公告)号：CN1193247C
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03128991.6
申请日：2003-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及基于微机械技术的N×N光开关，其特征在于先制作2N个1×N或N×1光开关，然后将1×N或N×1光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射镜和驱动装置的连接方式。所采用的驱动装置，以及驱动装置的制作。其中夹持板采用硅微机械技术制作，反射镜和驱动装置的连接采用键合技术，以及硅微机械技术制作的连接方式。采用上述方法制作光纤阵列板、反射镜阵列，再配以透镜阵列，作为光耦合层、光传输层、光反射驱动层，构成了N×N光开关。可以大大的减小光开关的体积，降低N×N光开关的装配难度，增大光开关的容量，从而易于实现N×N的光交换。
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公开(公告)号：CN1558260A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN200410015772.9
申请日：2004-01-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法，其特征在于采用掺杂锗的二氧化硅基片，利用集成电路工艺在SiO2基片上镀制一层掩模薄膜，并进行光刻、腐蚀工艺制作出波导布拉格光栅的掩模图形，再利用紫外光源在二氧化硅基片表面上照射，使得二氧化硅基片的掺锗的波导芯层发生光学折射率变化，从而制作出波导布拉格光栅。用该方法制作布拉格光栅不仅简单易行，而且可以制作多种结构、多种参数的波导布拉格光栅，并可实现波导光栅的进一步集成，从而可降低成本，扩大波导光栅的应用范围，提高波导光栅的生产效率和成品率。
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