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公开(公告)号:CN1222795C
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN02112181.8
申请日:2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 一种采用以压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵及其方法,属于光通信领域,其特征在于镜面排列方法由密排发展为非密排;光纤准直器排列方式由原来对准镜面中心发展为对着镜面间隙;双压电晶片驱动器是由两根长条状压电材料相互平行地粘贴在一起,沿粘贴面插入中间电极,而第二电极和第三电极则分布在粘贴面相对的另两个面上,其根部固定在支架上;工作时,不同的电压沿电极加到压电片上,产生弯曲,其弯曲方向和弯曲大小由电压来控制;镜面或插入双压电晶片的自由端开出的定位槽中;或通过粘贴法粘贴在双压电晶片自由端的侧壁上。本发明突破了“不工作镜面中心不允许与准直器中心在同一高度上”限制。
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公开(公告)号:CN1279386C
公开(公告)日:2006-10-11
申请号:CN03128875.8
申请日:2003-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种法布里-珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来,并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度,隆低了装配难度,从而保证器件性能。所提供的FP腔体由分解的二块压电块,一上高反膜和一下高反膜构成。上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面,分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。本发明工艺,结构简单,成本低廉,没有细梁等易受外界影响的部件,体积小,易于大批量制作,器件稳定可靠,性能优异。
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公开(公告)号:CN1456923A
公开(公告)日:2003-11-19
申请号:CN03128875.8
申请日:2003-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种法布里-珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来,并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度,降低了装配难度,从而保证器件性能。所提供的FP腔体由分解的二块压电块,一上高反膜和一下高反膜构成。上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面,分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。本发明工艺,结构简单,成本低廉,没有细梁等易受外界影响的部件,体积小,易于大批量制作,器件稳定可靠,性能优异。
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公开(公告)号:CN1385720A
公开(公告)日:2002-12-18
申请号:CN02112181.8
申请日:2002-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 一种采用双压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵,属于光通信领域,其特征在于镜面排列方式由密排发展为非密排;光纤准直器排列方式由原来对准镜面中心发展为对着镜面间隙;双压电晶片驱动器是由两根长条状压电材料相互平行地粘贴在一起,沿粘贴面插入中间电极,而第二电极和第三电极则分布在粘贴面相对的另两个面上,其根部固定在支架上;工作时,不同的电压沿电极加到压电片上,产生弯曲,其弯曲方向和弯曲大小由电压来控制;镜面或插入双压电晶片的自由端开出的定位槽中;或通过粘贴法粘贴在在双压电晶片自由端的侧壁上。本发明突破了“不工作镜面中心不允许与准直器中心在同一高度上”限制。
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公开(公告)号:CN2571076Y
公开(公告)日:2003-09-03
申请号:CN02267128.5
申请日:2002-09-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海联能科技有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种用压电体驱动器制作的二维光开关矩阵。其特征在于:(1)由相互垂直光纤准直器阵列、反电体驱动器、上定位板、镜面方阵以及相尖关驱动器组成;(2)光纤准直器阵列与压电体驱动器成45度角;(3)在每个压电体驱动器的顶部安装一个反射镜面;(4)压电体驱动器底端排成阵列固定在基板定位槽内,顶端置于上定位板的导引槽里;(5)压电驱动器的电极与驱动器电路通过焊接工艺连接。每个压电驱动器的表面或直接加工成镜面,每个压电驱动器由数十片陶瓷薄片在电学上并联,机械上串联的方式组成。由于采用压电体驱动器替代传统的技术制作的驱动器,使制作的光开关阵列不仅体积小且一致性好,适合未来器件发展的需要。
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