-
公开(公告)号：CN1295528C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410067932.4
申请日：2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭，形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制，基于这种光栅的衍射原理，可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。本发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺，降低了其制作成本。
-
公开(公告)号：CN1719291A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510026155.3
申请日：2005-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种玻璃光波导的制作方法，其主要特征是：首先通过离子交换工艺制备平板光波导，而后采用干法刻蚀或者湿法腐蚀工艺在平板光波导的基础上获得条形光波导或者脊形光波导。制作工艺是(1)用离子交换工艺在玻璃的表面获得扩散层；(2)通过光刻、掩膜、湿法腐蚀或干法刻蚀工艺，在步骤(1)形成的扩散层上制作条形光波导或脊形光波导的芯层；(3)制作上包层。在步骤(1)和(2)之间或步骤(2)和(3)之间进行第二次离子交换，每次离子交换工艺后选择性插入退火工艺。与常用的离子交换法相比，这种方法具有更大的灵活性，可以更方便地控制光波导芯部的几何形状和折射率分布，从而更方便地对光波导的模场分布进行优化。
-
公开(公告)号：CN1710453A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200510025829.8
申请日：2005-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用离子交换工艺在玻璃基片上制作的半导体激光器阵列的光纤耦合器件，特征在于横截面上沿平行于玻璃基片平面的方向形成周期性的若干个高折射率区域；以一个高折射率区域为中心的一个周期构成一个耦合单元，在每个耦合单元内部折射率分布具有相同的分布特征：耦合单元内沿垂直于玻璃基片方向的折射率差值较大，而沿平行于玻璃基片方向的折射率差值较小。耦合器与半导体激光器耦合时，每一个半导体激光器阵列的发光中心与一个耦合器横截面上的高折射率区域中心对准。这种耦合器用于光学系统中可以同时实现半导体激光的快、慢轴准直，因此与半导体激光器有较高的耦合效率。本耦合器件可以降低制作成本和装调难度，提高系统性能。
-
公开(公告)号：CN1605893A
公开(公告)日：2005-04-13
申请号：CN200410067932.4
申请日：2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭，形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制，基于这种光栅的衍射原理，可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。本发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺，降低了其制作成本。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.028 seconds)
