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公开(公告)号：CN103808249A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410052281.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电涡流传感与气动抓卡的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791859A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052201.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光栅测角的气动抓卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791813A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052084.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感测量的气动内卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103790649A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052236.X
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 可移动式双立柱结构的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN102393612B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201110378061.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102402133B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377373.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个并联防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，并联防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN102495532A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110378074.5
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于单/双驱步进扫描的双工件台外侧交换装置属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的硅片台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成硅片台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中硅片台始终运行于基台上，运动更平稳，而且Y向直线电机动子与硅片台固联，避免了硅片台的抓卡机构，具有运动惯量小、稳定时间短和具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN100554710C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200810136907.5
申请日：2008-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 单(双)翼式气/液两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑回转技术与液体阻尼技术复合使用，利用气体润滑技术误差平均效应显著的优势，确保回转基准的回转精度；同时利用粘滞液体对回转体振动分量的阻尼或能量吸收效应显著的特点，抑制回转体中、高频微振的产生，提高回转基准的运动稳定性、重复性和定位可靠性；其装置在气浮主轴的上端、或下端或上、下两端同时配装有粘滞系数适当的液体阻尼系统；本发明可建立一种同时兼顾高回转精度、运动稳定性、重复性及定位可靠性的复合回转基准。
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公开(公告)号：CN100494874C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域。特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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公开(公告)号：CN100337092C
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200510117263.1
申请日：2005-11-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种漂移量靶标反馈的长距离高精度二维偏振光电自准直装置和方法。二维光电自准直光管采用偏振激光光源、偏振分光镜和λ/4波片组合，利用激光的偏振特性避免测量光束回馈激光光源进而避免测量光束进一步的角漂移量；分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的激光光源固有的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对其角漂移量进行实时监测，计算机根据其监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制和消除在测量光束传播途径中耦合在测量光束中的角漂移量。
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