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公开(公告)号：CN102419517A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110377972.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联，Y向第四直线电机动子与第二工件台固联，Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
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公开(公告)号：CN102393612B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201110378061.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102495532A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110378074.5
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于单/双驱步进扫描的双工件台外侧交换装置属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的硅片台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成硅片台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中硅片台始终运行于基台上，运动更平稳，而且Y向直线电机动子与硅片台固联，避免了硅片台的抓卡机构，具有运动惯量小、稳定时间短和具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102419517B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110377972.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联，Y向第四直线电机动子与第二工件台固联，Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
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公开(公告)号：CN102495527B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102495527A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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公开(公告)号：CN102393612A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110378061.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。
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