检测装置、检测方法、程序及记录介质

    公开(公告)号:CN103748448A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201180073044.1

    申请日:2011-12-28

    Inventor: 川井若浩

    CPC classification number: G01M3/40

    Abstract: 检测装置(90)是检测系统中的漏气的装置,该系统具有利用压缩空气的空气喷射器(50A/50B)、取出机械手(60A/60B)、托盘变换器(70A/70B)、树脂烘干机(80A/80B)、和用于向压缩空气利用装置供给压缩空气的压缩机(10),该检测装置(90)根据压缩机(10)的耗电量检测有无漏气。

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