Al衬底用化学机械抛光液
    72.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102757732B

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201210219203.0

    申请日:2012-06-28

    Abstract: 本发明涉及一种化学机械抛光液,尤其涉及一种可有效应用于Al衬底化学机械抛光工艺的抛光液。本发明提供一种Al衬底用化学机械抛光液,包含抛光颗粒、氧化剂、鳌合剂、腐蚀抑制剂、表面活性剂、pH调节剂及水性介质。其中以抛光液总重量为基准,上述组分的重量百分比为:抛光颗粒0.1-50wt%;氧化剂0.01-10wt%;螯合剂0.01-5wt%;腐蚀抑制剂0.0001-5wt%;表面活性剂0.001-2wt%;余量为pH调节剂和水性介质。可显著降低化学机械抛光后Al衬底表面的桔皮坑等缺陷,从而大大改善抛光后Al衬底表面质量。

    一种开关器件及存储器
    75.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114203901B

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202111512058.0

    申请日:2021-12-07

    Abstract: 本发明提供一种开关器件及存储器,该开关器件包括下电极、上电极及夹设于下电极与上电极之间的开关材料层,其中:开关材料层包括Te、Se和S中的至少一种元素;开关器件处于开启状态时,开关材料层呈液态,且禁带宽度为0;开关器件处于关闭状态时,开关材料层呈结晶态,且开关材料层与上电极之间形成肖特基势垒,开关材料层与下电极之间形成肖特基势垒。本发明的开关器件采用开关材料晶态‑液态‑晶态相变开关机理,具有开通电流大、漏电流小、阈值电压小、单元一致性高、与CMOS工艺兼容、热稳定好、元素简单、低毒性及可极度萎缩等优点,能够驱动相变存储单元、阻变存储单元、铁电存储单元、磁存储单元等存储单元,实现高密度三维信息存储。

    一种半导体存储单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN119947122A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411944938.9

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明涉及一种半导体存储单元及其制备方法,包括基底、第一绝缘介质层、第二绝缘介质层、第四绝缘介质层;所述基底内设有底电极;所述第一绝缘介质层和第二绝缘介质层内设有“L”型纳米加热电极和第三绝缘介质层;所述加热电极底部连接底电极,顶部连接硫系化合物材料层;所述硫系化合物材料层顶部连接顶电极;所述加热电极的材料为含掺杂元素的过渡金属氮化物。本发明通过对加热电极材料的组分优化,提升了加热电极的加热效率,有助于降低半导体存储单元的操作功耗。

    一种低功耗相变存储器的制备方法

    公开(公告)号:CN115036417B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202210480717.5

    申请日:2022-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种低功耗相变存储器的制备方法。该制备方法包括:(1)在衬底上生长第一介质层,并形成圆柱状底电极;(2)在第一介质层上形成第二介质层,光刻和刻蚀形成纵向的沟槽1,(3)在沟槽1内形成“倒几字”型相变材料层,回刻蚀;(4)在形成的侧壁相变结构上生长第三电介质层,然后生长第四电介质层并填满沟槽1,抛光;(5)生长导电薄膜层,并通过光刻和刻蚀形成纵向条状导电线条;(6)生长第五电介质层,然后生长第六电介质层并填满导电线条之间的沟槽2,抛光;(7)圆孔1光刻和刻蚀,孔内填充导电材料,然后抛光,形成顶电极。该方法制备的相变材料层以片状形式存在,大大减小了相变材料的体积有利于功耗的降低。

    一种抗辐射加固的鉴频鉴相器电路

    公开(公告)号:CN119543923A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411501508.X

    申请日:2024-10-25

    Abstract: 本发明涉及一种抗辐射加固的鉴频鉴相器电路,包括:第一D触发器电路、第二D触发器电路、C单元电路和频率锁定指示单元电路;第一D触发器电路和第二D触发器电路的结构相同,均包括依次连接的第一DICE锁存器电路和第二DICE锁存器电路,DICE锁存器电路由置零信号和时钟信号进行控制;C单元电路的两个输入端分别与第一D触发器电路和第二D触发器电路的输出端相连,其输出信号作为置零信号反馈回第一D触发器电路和第二D触发器电路;频率锁定指示单元电路的输入端分别与第一D触发器电路和第二D触发器电路的输出端相连,输出端输出频率锁定指示信号。本发明实现了鉴频鉴相器电路的抗辐射加固设计。

    一种半导体存储器高可靠操作方法

    公开(公告)号:CN118588134A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410776753.5

    申请日:2024-06-17

    Abstract: 本发明涉及一种半导体存储器高可靠操作方法,包括:使用预操作调整存储单元的写疲劳状态;每次重新调整单元写疲劳状态后,将待测单元分别操作到需要对应的初始态,然后对存储单元执行读循环操作,并获取对应的电阻值;将收集的电阻值与对应的写、读操作条件进行匹配分析,以筛选可使半导体存储器具有超长读耐久性的读操作电压,最后优化并验证筛选条件。通过本发明,半导体存储器在特定读操作电压下表现出超长的读耐久性,实现了高可靠操作,为面向存算一体的神经网络领域的应用提供了候选器件。

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