-
公开(公告)号:CN1267765C
公开(公告)日:2006-08-02
申请号:CN02123292.X
申请日:2002-06-14
申请人: 株式会社半导体能源研究所
发明人: 田中幸一郎
IPC分类号: G02B27/09 , H01L21/324 , H01S3/00
CPC分类号: G02B27/0927 , B23K26/0604 , B23K26/0738 , B23K2101/40 , G02B19/0014 , G02B19/0052 , G02B27/09 , G02B27/0961 , G02B27/0966 , G02B27/0977 , H01L27/12 , H01L27/1285 , H01L29/78681 , H01S5/005 , H01S5/4012 , H01S5/4025
摘要: 当激光振荡器的输出变得更高,发展用于半导体膜激光退火工艺的更长的线形光束变成必要的。然而,如果线形光束的长度是300-1000mm或更长,那么用于形成线形光束的光学系统的光路长度变得非常长,从而增加了其占地面积尺寸。本发明缩短了光路长度。为了使光学系统的光路长度尽可能地短,并只增加线形光束的长度,可以在线形光束纵向上给半导体膜曲率。
-
公开(公告)号:CN1623109A
公开(公告)日:2005-06-01
申请号:CN02828618.9
申请日:2002-09-17
申请人: 古河电气工业株式会社
CPC分类号: G02B6/4225 , G02B6/4206 , G02B6/4214 , H01S5/0071 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/02415 , H01S5/02438 , H01S5/0683 , H01S5/4012
摘要: 本发明的光纤调心方法包括:移动光纤进行调心以使用功率计所测的光纤光输出成为最大的第一步骤;从上述第一步骤调心后的位置开始,使光纤沿光轴方向(Z方向)移动,以使用偏振计所测的两束激光K1、K2的偏振度到预定值以下的第二步骤。
-
公开(公告)号:CN1619898A
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN200410084967.9
申请日:2004-10-08
申请人: 富士胶片株式会社
CPC分类号: G02B6/4206 , G02B6/4239 , H01L2224/48091 , H01L2924/12044 , H01S5/005 , H01S5/0222 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/4012 , H01S5/4031 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供激光器模块。在将激发波长范围为350nm~450nm的半导体激光元件配置于密闭容器内而成的激光器模块中,能抑制密闭容器内有机挥发气体的产生,实现高寿命化。另外,在将激发波长范围为350nm~450nm的半导体激光元件配置于密闭容器(40、41)内而成的激光器模块中,作为配置在密闭容器(40、41)内的激光器模块,使用150℃下由GC-MASS评价的有机挥发气体产生量为10μg/g或其以下的零件,另一方面,作为固定光学零件(如准直透镜17)的有机粘接剂,使用150℃下由GC-MASS评价的有机挥发气体产生量为100μg/g或其以下的物质。
-
公开(公告)号:CN1591086A
公开(公告)日:2005-03-09
申请号:CN200410054974.4
申请日:2002-06-14
申请人: 株式会社半导体能源研究所
发明人: 田中幸一郎
IPC分类号: G02B27/10 , H01L21/324 , H01S3/00
CPC分类号: G02B27/0927 , B23K26/0604 , B23K26/0738 , B23K2101/40 , G02B19/0014 , G02B19/0052 , G02B27/09 , G02B27/0961 , G02B27/0966 , G02B27/0977 , H01L27/12 , H01L27/1285 , H01L29/78681 , H01S5/005 , H01S5/4012 , H01S5/4025
摘要: 当激光振荡器的输出变得更高,发展用于半导体膜激光退火工艺的更长的线形光束变成必要的。然而,如果线形光束的长度是300-1000mm或更长,那么用于形成线形光束的光学系统的光路长度变得非常长,从而增加了其占地面积尺寸。本发明缩短了光路长度。为了使光学系统的光路长度尽可能地短,并只增加线形光束的长度,可以在线形光束纵向上给半导体膜曲率。
-
公开(公告)号:CN1523450A
公开(公告)日:2004-08-25
申请号:CN03147430.6
申请日:2003-07-10
申请人: 富士胶片株式会社
CPC分类号: H01S5/4031 , H01L2224/48091 , H01S5/005 , H01S5/0224 , H01S5/02248 , H01S5/02272 , H01S5/02284 , H01S5/02407 , H01S5/02476 , H01S5/32341 , H01S5/4012 , H01S5/405 , H01L2924/00014
摘要: 本发明涉及复合波激光光源及曝光装置。由包括准直透镜(11~17)及聚光透镜(20)的聚光光学系统将从GaN系列半导体激光器(LD1~7)射出的激光束(B1~7)聚光后耦合到多模光纤(30)而进行复合。作为半导体激光器,采用芯片状态的单谐振腔氮化物系化合物半导体激光器(LD1~7),将其隔着副基座(9)安装在Cu或Cu合金制散热基座(10)上,副基座(9),采用热膨胀系数为3.5~6.0×10-6/℃的材料并按200~400μm的厚度形成,半导体激光器(LD1~7),相对于该副基座,在两者的结合面内分割为多个AuSn共晶焊料层及金属化层,并以结朝下结构分割焊接。
-
公开(公告)号:CN1519996A
公开(公告)日:2004-08-11
申请号:CN200410002571.5
申请日:2004-01-30
申请人: 富士胶片株式会社
CPC分类号: H01S5/4031 , H01S5/0014 , H01S5/005 , H01S5/0213 , H01S5/02252 , H01S5/02272 , H01S5/02284 , H01S5/02469 , H01S5/3202 , H01S5/3216 , H01S5/32341 , H01S5/4012 , H01S2301/173 , H01S2304/04 , H01S2304/12
摘要: 将氮化物半导体激光棒牢固地固定在Cu散热器上,得到激光元件。在由表面上依次蒸镀上Ni(0.1μm)和Pt(0.2μm)的Cu形成的散热器11上,配置3μm-50μm厚颗粒状由AuSn形成的焊剂材料14,并在其上配置氮化物系半导体激光棒13。用具有与激光棒同等从向长度的平坦焊接筒套,对该激光棒一边挤压,一边加热AuSn焊剂材料14(Au∶Sn=80%∶20%、熔点280℃),熔融后固化,并固定住氮化物半导体激光棒。
-
公开(公告)号:CN105793757B
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201480065658.9
申请日:2014-12-15
申请人: LIMO有限责任公司
发明人: T·米特拉
CPC分类号: G02B27/0966 , G02B3/0043 , G02B3/005 , G02B3/0068 , G02B6/2848 , G02B6/4206 , G02B19/0014 , G02B19/0057 , G02B27/09 , G02B27/0916 , G02B27/0961 , H01S5/4012 , H01S5/4031 , H01S5/405 , H01S5/4075
摘要: 本发明涉及一种用于形成激光辐射(10a、10c)的装置,所述装置具有:包括入射面(2)和出射面(3)的构件(1);入射面上的第一透镜阵列(4),所述第一透镜阵列具有多个沿X方向并排设置的透镜(5a、5c、5e);以及出射面上的第二透镜阵列(6),所述第二透镜阵列具有多个沿Y方向并排设置的透镜(7a、7c、7e),其中,激光辐射(10a、10c)由第一透镜阵列的透镜中的第一透镜关于X和Y方向与由第一透镜阵列(4)的透镜中的第二透镜相比以不同的角度转向,并且激光辐射由第二透镜阵列的透镜中的第一透镜关于X和Y方向与由第二透镜阵列的透镜中的第二透镜相比以不同的角度转向。
-
公开(公告)号:CN105992971B
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201380081336.9
申请日:2013-12-05
申请人: 三菱电机株式会社
CPC分类号: H01S3/109 , G02F1/37 , G02F2001/3503 , G02F2201/305 , G02F2201/307 , H01S3/07 , H01S3/08009 , H01S3/08054 , H01S3/08086 , H01S3/0826 , H01S3/094096 , H01S3/09415 , H01S3/1055 , H01S5/005 , H01S5/0071 , H01S5/0092 , H01S5/141 , H01S5/143 , H01S5/4012 , H01S5/4087
摘要: 本发明的目的在于,提供一种多波长激光装置,能够以简便的结构得到重叠于同一轴上的多个波长变换后的光,而且能够缓解对重叠的光的限制。多波长激光装置具有:激光光源(10),其射出基波长彼此不同的多个激光(20);色散元件(30),其按照波长和入射方向变更从激光光源(10)射出的激光(20)的行进方向,以重叠于同一轴上的状态出射;以及波长变换元件(40),其具有周期性地形成的极化反转区域和非极化反转区域,对从色散元件(30)出射并重叠于同一轴上的状态的多个基波激光进行波长变换,使通过波长变换而得到的多个激光(50)以重叠于同一轴上的状态出射。
-
公开(公告)号:CN105659451B
公开(公告)日:2019-06-04
申请号:CN201480056834.2
申请日:2014-10-13
申请人: 法国圣戈班玻璃厂
IPC分类号: G02B27/10 , H01S5/40 , G02B27/09 , B23K26/06 , C21D1/38 , B23K26/073 , G02B19/00 , B23K26/04 , B23K26/352 , G02B27/14 , C21D9/50 , F21V7/00
CPC分类号: H01S5/4012 , B23K26/043 , B23K26/0608 , B23K26/0643 , B23K26/0738 , B23K26/352 , C21D1/38 , C21D9/50 , F21V7/0083 , G02B19/0057 , G02B27/0905 , G02B27/0977 , G02B27/1006 , G02B27/143 , H01S5/4043 , H01S5/405 , H01S2301/20
摘要: 本发明涉及一种激光器装置,包括每个均在工作平面处生成激光线的多个激光器模块,所述激光器模块被并置并且排列,以便由模块生成的激光线组合成单个激光线,所述激光器模块中的每个包括至少一个激光线生成部件,所述激光器装置特征在于:所述激光线生成部件或每个激光线生成部件包括两个激光二极管巴条(2)排列(1a,1b),每个巴条均发射聚焦的激光束(3a,3b),两个排列(1a,1b)被相对于彼此平行布置,从而巴条(2)被错开布置,由两个巴条排列(1a,1b)分别生成的平行的两组激光束(3a,3b)被通过一组镜(4,5)整合为单个激光线(8),激光二极管巴条排列(1a,1b)和镜(4,5)被布置从而两组激光束(3a,3b)在被整合为单个激光线(8)之前遍历相同长度的光学路径。
-
公开(公告)号:CN109314363A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201780037099.4
申请日:2017-04-26
申请人: 恩耐公司
CPC分类号: H01S5/02423 , H01S3/094003 , H01S3/09415 , H01S5/02208 , H01S5/02236 , H01S5/02284 , H01S5/02288 , H01S5/02438 , H01S5/02469 , H01S5/4012 , H01S5/4025
摘要: 本发明公开了一种设备。该设备用于冷却激光二极管泵,包括低尺寸重量功率高效(SWAP)激光二极管(LSLD)组件,所述组件包括激光二极管,该激光二极管耦接到第一表面上的基板,该基板包括第一导热材料和散热器,该散热器耦接到基板的第二表面,其中散热器包括第二导热材料,该散热器包括一个或多个构件,该一个或多个构件形成在与所耦接的基板相对的侧面上。所述设备还包括外壳,该外壳耦接到LSLD组件,该外壳包括:载体结构,该载体结构具有孔,该孔被配置为将LSLD组件支撑在第一侧面上并且在第二侧面上具有多个通道;底部区段,该底部区段被配置为耦接到载体区段以在底部区段的顶侧面和载体结构的第二侧面之间的通道周围形成封装件;入口和出口,该入口和出口形成在外壳中以用于将冷却剂传输到封装件中的通道中并且从通道传输出来,其中所述构件设置在封装件内以便将构件暴露于冷却剂。
-
-
-
-
-
-
-
-
-