半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100392929C

    公开(公告)日:2008-06-04

    申请号:CN200510070180.1

    申请日:2005-05-10

    Abstract: 本发明公开一种半导体器件及其制造方法。在具有形成于其上的作为凹陷部分的刻槽区域的已处理衬底上,布置氮化物半导体薄膜。填充所述凹陷部分的所述氮化物半导体薄膜占据的截面面积为所述凹陷部分的截面面积的0.8倍或更低。从而防止了裂纹的产生。而且,通过抑制由形成氮化物半导体薄膜的原材料原子和分子从隆脊表面上的顶面生长部分迁移或移动至刻槽区域而导致的氮化物半导体薄膜的形成的方法,形成了具有良好表面平坦度的氮化物半导体生长层,从而消除了电流泄漏通道和损坏。

    氮化物半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1921243A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200610121688.4

    申请日:2006-08-28

    Abstract: 对具有氮化物半导体层的衬底解理,以形成谐振器端面,在所述谐振器端面上形成涂覆膜,从而制成氮化物半导体激光棒。将其划分为氮化物半导体激光元件。在谐振器端面形成涂覆膜之前,将谐振器端面暴露于由含有氮气的气体生成的等离子体气氛中。当以“a”表示所述暴露之前所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“b”表示在所述暴露之前自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值,以“d”表示在暴露于所述等离子体气氛之后所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“e”表示在所述暴露之后自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值时,将由g=(b·d)/(a·e)表示的值“g”设为满足g≥0.8的值。

    氮化物半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1805230A

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN200510136195.3

    申请日:2005-12-20

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件及其制造方法。六方晶系结晶的粘合层设置在具有氮化物基III-V族化合物半导体层的氮化物激光棒的光谐振器端面上,并且端面涂膜设置在粘合层上。这样,就得到了端面涂膜设置在粘合层上的结构。本发明增加了光谐振器端面和端面涂膜之间的粘合力,从而就不需要通过控制薄膜厚度来防止pn结短路和光吸收。

    氮化物半导体激光器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1638220A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200510003967.6

    申请日:2005-01-05

    Abstract: 公开了一种氮化物半导体发光器件及其制造方法,该发光器件包括:其至少部分表面由氮化物半导体构成的氮化物半导体基板;及叠置于氮化物半导体基板表面上的氮化物膜半导体生长层,其中在氮化物半导体基板表面上形成具有106cm-2或更小缺陷密度的低缺陷区域及呈现凹部形状的挖入区域,而且,在凹部的截面图中测量的凹部的侧面部分与其底面部分的延长线之间的角度即刻蚀角θ在75°≤θ≤140°的范围内。这防止了裂纹的产生,并减少自挖入区域的底部生长部分的蠕升生长,因而减小侧部生长部分的膜厚。这使得可以高合格率地制造出具有良好表面平坦度的氮化物半导体生长层的氮化物半导体激光器件。

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