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公开(公告)号：CN105043255A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510381723.5
申请日：2015-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置属于尺寸测量技术领域；激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由激光器、光纤、夹持器、透镜、光电探测器和探针装配构成；本发明的特点是：探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、具备三维探测能力、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。
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公开(公告)号：CN104990499A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510381711.2
申请日：2015-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于共轭焦点跟踪探测技术的探针传感装置属于尺寸测量技术领域；在激光器的出射光路上依次配置准直透镜、反射镜、显微物镜、光纤探针，光纤探针通过悬挂弹片悬挂安装在固定座上，光纤探针由内部刻有光纤光栅结构的光纤和探针触球配装构成；在显微物镜与反射镜之间依次配置第一分光镜和第二分光镜，在第一分光镜的反射光路上依次配置第一收集透镜和横向光电探测器，在第二分光镜的反射光路上依次配置第二收集透镜和轴向光电探测器；激光器、横向光电探测器和轴向光电探测器分别由电控位移台带动进行三维运动；本装置具有探针制作方便且易实现微型化、探测光强度高且易于探测、具备三维探测及解调能力、分辨力高、装置结构简单的特点。
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公开(公告)号：CN103245292B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310167658.7
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制声光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调声光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明无需引入移动部件，即可提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN1329766C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510076827.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号：CN1731084A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510102478.6
申请日：2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括：瞄准及发讯装置，用以产生瞄准信号，并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置，用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置，用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制；其特征在于：所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元；在双光纤耦合单元中，一根光纤作为入射光纤，另一根作为出射光纤，两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1687816A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN200510076827.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号：CN1651786A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510009746.X
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“复合节流静压气体圆锥轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆锥轴承，在轴承工作面上，沿静压气浮供气点分布圆法线方向加工有表面截流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面截流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆锥轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮圆锥轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1632336A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009637.8
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“分立式人字槽动静压气体复合球面轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合球面轴承，在球面轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1584495A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410062208.2
申请日：2004-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。
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公开(公告)号：CN119267482A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528385.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大型精密隔微振自适应主被动复合空间电磁阵列阻尼调控装置属于隔振技术领域，采用4n(n≥1，n∈N+)层等截面磁环，沿轴向阵列排布且相邻层间垂直磁化，形成同轴嵌套的内、外永磁阵列，从而在导体板周围构建高磁密励磁磁场，导体板相对于该磁场运动产生强阻尼效应。当外部激励频率变化时，通过速度反馈精确调控导体板外侧同轴嵌套线圈中的电流，动态调整阻尼力。在低频微振动时展现出高阻尼特性，有效降低振动传递率；而在高频微振动时，则呈现低阻尼特性，实现振动干扰的高效衰减。此主被动复合阻尼调控策略增强了大型精密隔微振的适应性、稳定性及其在复杂振动环境下的隔振性能。
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