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公开(公告)号：CN1282830C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200510009747.4
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“复合节流静压气体圆柱轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆柱轴承，在轴承工作面上，沿圆柱轴线方向加工有表面节流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面节流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆柱轴承提高30%以上，轴承刚度比传统静压气浮圆柱轴承提高15%以上。
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公开(公告)号：CN1654840A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510009745.5
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“复合节流静压气体止推轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体止推轴承，在轴承工作面上，沿静压气浮供气点分布圆法线方向加工有表面截流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面截流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮止推轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮止推轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1270110C
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510009741.7
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“双特征复合节流静压气体圆柱轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆柱轴承，在圆柱轴承工作面上，以静压气浮供气点为中心，加工有均压腔，均压腔外侧加工有放射状表面节流沟槽，表面节流沟槽与相应均压腔相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆柱轴承提高30%以上，轴承刚度比传统静压气浮圆柱轴承提高15%以上。
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公开(公告)号：CN1651787A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510009747.4
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“复合节流静压气体圆柱轴承，涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆柱轴承，在轴承工作面上，沿圆柱轴线方向加工有表面节流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面节流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆柱轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮圆柱轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1651781A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510009740.2
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“双特征复合节流静压气体球面轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体球面轴承，在球面轴承工作面上，以静压气浮供气点为中心，加工有均压腔，均压腔外侧加工有放射状表面节流沟槽，表面节流沟槽与相应均压腔相通。轴承承载能力比传统静压气浮球面轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮球面轴承提高15％以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100429545C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单刻线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN1719298A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN1651783A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510009742.1
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“双特征复合节流静压气体圆锥轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆锥轴承，在圆锥轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮圆锥轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮圆锥轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1651782A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510009741.7
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“双特征复合节流静压气体圆柱轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆柱轴承，在圆柱轴承工作面上，以静压气浮供气点为中心，加工有均压腔，均压腔外侧加工有放射状表面节流沟槽，表面节流沟槽与相应均压腔相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆柱轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮圆柱轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1329766C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510076827.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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