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公开(公告)号：CN101581604B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200910071681.X
申请日：2009-03-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法属于成像光谱技术领域；该装置包括衍射透镜、由挡光板、Nipkow盘及微透镜阵列盘组成的层析及成像系统、探测器、相对位置固定机构、第一及第二旋转驱动机构、直线驱动器；相对位置固定机构解锁，第一及第二旋转驱动机构能够分别驱动挡光板与微透镜阵列盘及Nipkow盘旋转；相对位置固定机构锁紧，第一驱动机构驱动层析及成像系统扫描入射光像方焦平面直接获得某单一波长入射光的二维图象及光谱信息；直线驱动器驱动层析及成像系统沿衍射透镜光轴扫描即可获得被探测光谱范围内所有波长入射光的图像及光谱信息；本发明具有低杂散光、高光谱分辨率、高空间分辨率的特点。
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公开(公告)号：CN1329766C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510076827.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号：CN1786776A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510130464.5
申请日：2005-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；使所述第一光束和第二光束通过聚焦物镜会聚；使所述第一光束和第二光束聚焦于同一焦平面上的步骤；本发明的有益效果在于，不需要制作透过率调制板就可以实现透过率调制，避免了光束遮挡、光束整形、透过率渐变掩模板调制过程中生成杂散光的问题；、避免光束整形过程中，破坏光束准直性和能量均匀性；实现透过率调制的同时，还保留有位相设计自由度，因而可以独立实现振幅型超分辨、位相型超分辨及复振幅型超分辨，具有设计灵活的优点。本发明的还提供一种实现上述双位相复合超分辨光瞳滤波方法的装置。
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公开(公告)号：CN1687816A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN200510076827.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
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公开(公告)号：CN101520304A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071662.7
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；由显微物镜和CCD相机组成软针孔探测装置，通过移走测量表面，移动显微物镜和CCD相机确定收集物镜准焦面位置，定位CCD像面上爱里斑中心点位置，截取并锁定CCD像面上相应于不同显微放大倍数的固定像素区域作为软针孔，调整显微物镜和CCD相机使其对收集物镜会聚准焦面处横向光斑成清晰放大像，再加入被测表面，按照四步时间移相干涉二次共焦测量步骤完成具体微位移测量；本发明可提供灵活的等效针孔样式，有效降低实际共焦针孔的装调误差，提高移相干涉二次共焦点探测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100504513C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200510130464.5
申请日：2005-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第一、第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；使所述第一光束和第二光束通过聚焦物镜会聚；使所述第一光束和第二光束聚焦于同一焦平面上的步骤；本发明的有益效果在于，不需要制作透过率调制板就可以实现透过率调制，避免了光束遮挡、光束整形、透过率渐变掩模板调制过程中生成杂散光的问题。本发明的还提供一种实现上述双位相复合超分辨光瞳滤波方法的装置。
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公开(公告)号：CN101520305A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910071663.1
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 瞬间移相干涉二次共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；其装置包括同步移相模块，在该模块三侧分别配置完全相同的由收集物镜、探测针孔和光电探测器组成的干涉信号接收装置；在第一和第二两种共焦测量状态下，控制三路干涉信号接收装置同步采集输出信号，利用三步移相算法完成共焦微位移解算；本发明融合移相二次共焦与同步移相技术各自特点，实现超精密高速动态测量，具有强抗振动能力和低移相误差的优点。
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公开(公告)号：CN100429545C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单刻线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN1719298A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN101520320B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200910071665.0
申请日：2009-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置属于光学检测技术领域；在隔振基座上安装有球形气浮台和龙门支架，直线气浮导轨固定在龙门支架中央部位处，直线气浮导轨下端配置有光学波面干涉仪；球形气浮台由球形气浮轴、气浮轴基座、旋转电机、步进电机、环形导轨、第一导轨副、第二导轨副、支撑机构组成；球形气浮轴的台面上固定一环形导轨，环形导轨上对称配置第一导轨副和第二导轨副，第一导轨副与固定在气浮轴基座上的旋转电机刚性连接，第二导轨副通过轴承与固定在气浮轴基座上的支撑机构运动连接，步进电机固定在第二导轨副上，并与环形导轨运动连接；该装置机构简单，运动精度要求较低，并抑制了环境震动和被测件形变对测量结果的影响。
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