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公开(公告)号：CN104409561A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410578408.7
申请日：2014-10-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/09 , H01L31/0232
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/0232 , H01L31/09
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于微球阵列实现更强光响应的硅薄膜光探测器及其制备方法。制备方法包括在衬底上制备单层或多层单分散微球阵列作为光学谐振层；借助原子层沉积技术修饰微球阵列；通过单晶硅薄膜的制备/剥离以及转移技术在光学谐振层上形成单晶硅纳米薄膜制作光探测功能层。在制备过程中，通过对微球尺寸以及微球修饰层介电常数控制，调节光谐振层发生强光学谐振时对应的光波频率。在特定频率的光信号作用下，本发明光探测器可以比没有光学谐振层的同类器件获取更强的光响应。该探测器设计新颖，特定光波段下灵敏度高，为弱光信号的探测及传感、光通讯等领域开辟了新的前景。
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公开(公告)号：CN102539379B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201110434380.6
申请日：2011-12-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括：在衬底上制备一层有机物牺牲层；然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜，并且通过沉积参数的控制，在该功能层中引入预应力梯度；利用有机溶剂去掉牺牲层，释放功能薄膜，使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响，该自由薄膜弯曲成管道结构；将该结构置于流体中，探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式，根据谐振波长的移动，可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高，制备方便，在生物传感等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN102660763A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210136973.9
申请日：2012-05-07
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用。其步骤为：先清洗Ti片表面；再用阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列薄膜；然后将TiO2纳米管阵列薄膜置于氧化铝坩埚中；然后将氧化铝坩埚中放入管式炉中，通入适当的气氛，同时在气氛中掺入水蒸汽得到混合气体，进行热处理；冷却后取出，即得。本发明工艺简单，制备温度低，所得TiO2纳米管阵列薄膜具备比纯气体气氛退火的样品具有更好的锐钛矿结晶性，及更高的光催化降解能力，为二氧化钛纳米管阵列薄膜的应用开辟了新的前景。
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公开(公告)号：CN102539379A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110434380.6
申请日：2011-12-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括：在衬底上制备一层有机物牺牲层；然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜，并且通过沉积参数的控制，在该功能层中引入预应力梯度；利用有机溶剂去掉牺牲层，释放功能薄膜，使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响，该自由薄膜弯曲成管道结构；将该结构置于流体中，探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式，根据谐振波长的移动，可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高，制备方便，在生物传感等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN102227012A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110176061.X
申请日：2011-06-28
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/49107 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明属于LED技术领域，具体为一种色温均匀的高显色性能白光LED。本发明白光LED包括通常白光LED的如下基本部件：LED芯片、封装支架、硅胶、荧光片、透镜、反光杯、热沉；其中，所述荧光片采用中心厚、边缘薄的球冠形状；并且荧光片位于LED芯片上方，荧光片与LED芯片分离，两者之间填充透明硅胶；荧光片吸收LED芯片所发射光子，光子能量下转换，成为波长更长光子，与所述LED芯片所发射、并透过所述荧光片的光子混合生成白光。本发明白光LED设计精巧，消除普通白光LED侧向发光偏黄效应，色温在空间各个角度均匀，一致性好；适用于制造低成本、高性能白光LED。
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公开(公告)号：CN118957535A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410876049.7
申请日：2024-07-02
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域，具体为可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔及其使用方法。本发明反应腔包括U型管反应腔、粉末进料装置、粉末出料装置、前驱体输送系统、流化气输送系统、尾气处理及真空系统、加热和电气控制系统；U型管反应腔分为进料输送管道和粉末流化管道；粉末进料装置用于分批次往反应腔进料，流化气和前驱体脉冲气体从进料输送管道引入，粉末在流化气体作用下分散并发生原子层沉积反应；粉末包覆完成后，粉末进料装置再次进料，开启下一批次粉末包覆工艺，实现半连续粉末包覆过程。本发明反应腔在不频繁拆、装反应腔并保留原子层沉积反应的清洗步骤的情况下，实现分批次、连续性进料、包覆、收集，提高粉末包覆效率。
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公开(公告)号：CN118668188A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410736577.2
申请日：2024-06-07
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/442 , C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积镀膜技术领域，具体为一种用于粉末流化原子层沉积的反应腔装置及其使用方法。本发明反应腔装置包括反应腔本体、底部进气口、顶部出气口、反应腔旁路和吹扫气体支路，反应腔旁路是与反应腔气体输送主管路并联的气体输送管路，该旁路起始于反应腔底部进气端，终止于反应腔顶部出气端的隔膜阀，该旁路的开启由控制阀控制；底部滤片为非均一孔隙的金属粉末烧结滤片，顶部过滤器上耦合有测温穿插件和气体吹扫支路。本发明利用流化气体从下至上分散反应腔内的粉末，有效提高粉末流化原子层沉积的残余气体抽取效率，抑制粉末稀相层高度，监测反应腔体内部温度，对顶部过滤器上的附着粉末进行吹扫，有效流化反应腔内的粉末。
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公开(公告)号：CN118571598A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410810109.5
申请日：2024-06-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种集成磁性薄膜的自卷曲管状微型片上电感器及其制备方法，属于集成电路、微纳电磁学元器件技术领域。本申请方案通过在三维管状结构中引入磁性薄膜，并将磁性薄膜图形化成连续条带或块状阵列，增强了软磁材料的磁各向异性，从而诱导特定的磁域模式，提升磁性薄膜的磁约束能力和铁磁共振频率。此外，图形化磁性薄膜的易磁化方向平行于电流方向，可以避免易轴上的反复磁化引起的损耗，利用难轴磁化减小整体损耗，提高电感值。进一步地，本方案中的管状结构为多层结构，只需在二维平面结构上沉积一层磁性薄膜，在卷曲后，内部线圈被多层磁性薄膜层包裹，从而达到更好的磁约束效果。
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公开(公告)号：CN117987879A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410081526.0
申请日：2024-01-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于水解制氢反应技术领域，具体为一种Nafion与Cu‑BDC复合质子交换膜及其制备方法和应用。本发明首先在Nafion薄膜上采用特定参数原子层沉积ZnO纳米薄膜，然后通过水热反应将沉积ZnO纳米薄膜的Nafion薄膜分别在硝酸锌和对苯二甲酸有机配体溶液中反应合成Cu‑BDC薄膜，形成Nafion薄膜与Cu‑BDC薄膜紧密结合的复合质子交换膜；该复合质子交换膜，均匀，离子扩散导电通路稳定；具有优异的析氢性能，在10mA cm‑2下84mV的过电位，58mV dec‑1的Tafel斜率，以及在1.0M NaOH电解质中的良好稳定性；可以用于水解析氢反应的催化电极。
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