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公开(公告)号：CN102660763B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201210136973.9
申请日：2012-05-07
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用。其步骤为：先清洗Ti片表面；再用阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列薄膜；然后将TiO2纳米管阵列薄膜置于氧化铝坩埚中；然后将氧化铝坩埚中放入管式炉中，通入适当的气氛，同时在气氛中掺入水蒸汽得到混合气体，进行热处理；冷却后取出，即得。本发明工艺简单，制备温度低，所得TiO2纳米管阵列薄膜具备比纯气体气氛退火的样品具有更好的锐钛矿结晶性，及更高的光催化降解能力，为二氧化钛纳米管阵列薄膜的应用开辟了新的前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104020152B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410238144.0
申请日：2014-06-02
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以及衬底之间的部分牺牲层，释放氧化物薄膜，使氧化物薄膜卷曲成微米管；在微米管内外壁上包覆聚合物薄膜。所述三明治结构微米管可作为湿度传感器的测量。具体如下：将三明治结构微米管置于湿度可调的密封环境中，当环境的湿度增加时，聚合物吸水膨胀，微米管的壁厚增加。测量三明治结构微米管光学谐振模式的谐振波长的变化，即可用于检测环境的湿度。
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公开(公告)号：CN104020152A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410238144.0
申请日：2014-06-02
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以及衬底之间的部分牺牲层，释放氧化物薄膜，使氧化物薄膜卷曲成微米管；在微米管内外壁上包覆聚合物薄膜。所述三明治结构微米管可作为湿度传感器的测量。具体如下：将三明治结构微米管置于湿度可调的密封环境中，当环境的湿度增加时，聚合物吸水膨胀，微米管的壁厚增加。测量三明治结构微米管光学谐振模式的谐振波长的变化，即可用于检测环境的湿度。
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公开(公告)号：CN102539379B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201110434380.6
申请日：2011-12-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括：在衬底上制备一层有机物牺牲层；然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜，并且通过沉积参数的控制，在该功能层中引入预应力梯度；利用有机溶剂去掉牺牲层，释放功能薄膜，使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响，该自由薄膜弯曲成管道结构；将该结构置于流体中，探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式，根据谐振波长的移动，可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高，制备方便，在生物传感等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN102660763A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210136973.9
申请日：2012-05-07
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用。其步骤为：先清洗Ti片表面；再用阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列薄膜；然后将TiO2纳米管阵列薄膜置于氧化铝坩埚中；然后将氧化铝坩埚中放入管式炉中，通入适当的气氛，同时在气氛中掺入水蒸汽得到混合气体，进行热处理；冷却后取出，即得。本发明工艺简单，制备温度低，所得TiO2纳米管阵列薄膜具备比纯气体气氛退火的样品具有更好的锐钛矿结晶性，及更高的光催化降解能力，为二氧化钛纳米管阵列薄膜的应用开辟了新的前景。
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公开(公告)号：CN102539379A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110434380.6
申请日：2011-12-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括：在衬底上制备一层有机物牺牲层；然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜，并且通过沉积参数的控制，在该功能层中引入预应力梯度；利用有机溶剂去掉牺牲层，释放功能薄膜，使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响，该自由薄膜弯曲成管道结构；将该结构置于流体中，探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式，根据谐振波长的移动，可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高，制备方便，在生物传感等领域具有重要的应用前景。
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