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公开(公告)号：CN104020152B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410238144.0
申请日：2014-06-02
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以及衬底之间的部分牺牲层，释放氧化物薄膜，使氧化物薄膜卷曲成微米管；在微米管内外壁上包覆聚合物薄膜。所述三明治结构微米管可作为湿度传感器的测量。具体如下：将三明治结构微米管置于湿度可调的密封环境中，当环境的湿度增加时，聚合物吸水膨胀，微米管的壁厚增加。测量三明治结构微米管光学谐振模式的谐振波长的变化，即可用于检测环境的湿度。
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公开(公告)号：CN104020152A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410238144.0
申请日：2014-06-02
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种三明治结构微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：准备一个衬底，在衬底上制备图形化的牺牲层模板；在衬底及牺牲层上沉积具有内应力的双层氧化物薄膜；选择性地除去在氧化物薄膜以及衬底之间的部分牺牲层，释放氧化物薄膜，使氧化物薄膜卷曲成微米管；在微米管内外壁上包覆聚合物薄膜。所述三明治结构微米管可作为湿度传感器的测量。具体如下：将三明治结构微米管置于湿度可调的密封环境中，当环境的湿度增加时，聚合物吸水膨胀，微米管的壁厚增加。测量三明治结构微米管光学谐振模式的谐振波长的变化，即可用于检测环境的湿度。
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