一种片上微流控微量H2传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN120044081A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510198068.3

    申请日:2025-02-21

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种片上微流控微量H2传感器及其制备方法,属于气体传感技术领域。所述方法将Pd薄膜生长在两层MOF薄膜中间,将三层复合薄膜自卷曲成管状结构,实现片上微流控微量H2的管道型快速检测。利用MOF薄膜的微孔结构,选择性透过小分子尺寸的目标H2靶分子,而将大于微孔的其他气体分子隔离在外,实现对低浓度H2的灵敏检测和快速响应。

    一种Nafion与Cu-BDC复合质子交换膜及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117987879A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410081526.0

    申请日:2024-01-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于水解制氢反应技术领域,具体为一种Nafion与Cu‑BDC复合质子交换膜及其制备方法和应用。本发明首先在Nafion薄膜上采用特定参数原子层沉积ZnO纳米薄膜,然后通过水热反应将沉积ZnO纳米薄膜的Nafion薄膜分别在硝酸锌和对苯二甲酸有机配体溶液中反应合成Cu‑BDC薄膜,形成Nafion薄膜与Cu‑BDC薄膜紧密结合的复合质子交换膜;该复合质子交换膜,均匀,离子扩散导电通路稳定;具有优异的析氢性能,在10mA cm‑2下84mV的过电位,58mV dec‑1的Tafel斜率,以及在1.0M NaOH电解质中的良好稳定性;可以用于水解析氢反应的催化电极。

    一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法

    公开(公告)号:CN116926490A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202310856694.8

    申请日:2023-07-13

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于金属有机框架薄膜技术领域,具体为一种等离子浸没注入调节金属有机框架薄膜电化学性质的方法。本发明是通过等离子浸没注入的方式,在维持MOF薄膜多孔网络结构的基础上,按需调控MOF薄膜内部稳定化学键连接的金属离子种类和数量,实现MOF薄膜电化学性质的调控,具体步骤包括:把衬底上合成的MOF薄膜置入等离子浸没注入设备的样品台;金属靶材装入等离子浸没注入的靶材室;设置注入电压和注入时间;打开设备将所需离子注入MOF薄膜,实现MOF薄膜内部金属离子种类的改变和电化学性质的调节。本发明方法为气相调控,全过程无有机溶剂参与,一步调控MOF薄膜中金属离子,实现快速大规模制备,且具有普适性和可调控性。

    一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备

    公开(公告)号:CN118668189A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410768349.3

    申请日:2024-06-14

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备,属于原子层沉积反应设备技术领域。针对检测光束需要以最佳入射角在最佳入射位置入射以保证检测光束能够按照预定路径反射的需求,设置了升降系统和调平系统;进一步的,通过设置隔热棒,最大程度的保证了椭圆偏振光谱仪部件不受真空腔室的高温影响,而且针对可视窗在实验过程中镀上膜,会影响穿过可视窗的光束强度,从而影响检测结果,本申请设置了扫吹管路,以避免薄膜沉积过程对可视窗镀膜;基于该集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备,实现了对于原子层薄膜沉积过程中的精准检测。

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