公开(公告)号：CN118571598A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410810109.5

申请日：2024-06-21

Applicant: 复旦大学

Inventor： 黄高山 ,  乔郅元 ,  刘声宝 ,  陈力 ,  崔继斋 ,  梅永丰

IPC: H01F27/06 ,  H01F27/28 ,  H01F41/14 ,  H01F41/18 ,  H01F41/20

Abstract: 本发明公开了一种集成磁性薄膜的自卷曲管状微型片上电感器及其制备方法，属于集成电路、微纳电磁学元器件技术领域。本申请方案通过在三维管状结构中引入磁性薄膜，并将磁性薄膜图形化成连续条带或块状阵列，增强了软磁材料的磁各向异性，从而诱导特定的磁域模式，提升磁性薄膜的磁约束能力和铁磁共振频率。此外，图形化磁性薄膜的易磁化方向平行于电流方向，可以避免易轴上的反复磁化引起的损耗，利用难轴磁化减小整体损耗，提高电感值。进一步地，本方案中的管状结构为多层结构，只需在二维平面结构上沉积一层磁性薄膜，在卷曲后，内部线圈被多层磁性薄膜层包裹，从而达到更好的磁约束效果。