一种基于超表面的MEMs光学相控阵
    51.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118759778A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202411072357.0

    申请日:2024-08-06

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的MEMs光学相控阵,属于光学相控阵技术领域。其装置包括若干MEMs横向位移器和若干超表面光栅,每个MEMs横向位移器与每个超表面光栅由下到上集成连接组成一个移相器单元,每个移相器单元均位于控制电路上,若干个移相器单元组成相控阵。本发明提供的一种基于超表面的MEMs光学相控阵,其中超表面光栅器具有高衍射效率和高激光损伤阈值以及MEMs横向位移器具有微秒级的响应速度。与现有MEMs相控阵技术相比,本发明提出的基于超表面的MEMs光学相控阵具有更高的光学效率、更强的激光负载和更快的扫描速度,在满足光束扫描系统小型化和轻量化的同时具备更优的性能,在导弹制导、测绘、无人驾驶等领域有着重要的作用。

    一种多波段激光合束系统及光束控制方法

    公开(公告)号:CN117784436A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311676709.9

    申请日:2023-12-08

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种多波段激光合束系统及光束控制方法,包括激光合束模块和合成光束监控模块,激光合束模块包括子束激光器、控制反射镜、光束合成镜和高反镜,子束激光器所发出的子光束照射到控制反射镜上,经过控制反射镜的反射到达光束合成镜合成为合成光束,经过光束合成镜到达高反镜,从高反镜一面反射出合成激光,另一面输出测试光束进入合成光束监控模块。与现有技术相比,本发明具有实现了多光束的合成,适合各种能量或宽波段的激光器;实现了对各光束的绝对位置控制,再通过反馈调整保证了合成精度;保证了激光合成光束的指向稳定性,降低了后续激光发射系统的难度等优点。

    一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117740144A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311552508.8

    申请日:2023-11-21

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法,该装置包括:分光镜:设于待测激光器后,用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路,分为第一光束和第二光束,分别用于能量监测和光斑形貌采集;能量监测模块:该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和能量计,用于实时监测第一光束的能量波动;光斑形貌采集模块:该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、CCD和二维电机,用于分区采集第二光束的CCD光斑图像,并基于第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接,获得大口径激光光斑形貌。与现有技术相比,本发明具有测量口径大、拼接效果好等优点。

    一种可调焦高功率激光准直系统

    公开(公告)号:CN117055238A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311107446.X

    申请日:2023-08-31

    Applicant: 同济大学

    Inventor: 张锦龙 李忠睿

    Abstract: 本发明涉及一种可调焦高功率激光准直系统,所述激光准直系统包括光纤接头标准转接件、密封支架、过渡支架、移动筒、固定支架、螺纹调节圈、准直支架和准直透镜;所述光纤接头标准转接件接入所述密封支架,所述密封支架与所述过渡支架配合并固定在一起,整体和所述移动筒同轴配合;所述准直透镜安装在所述准直支架上,并整体固定在所述固定支架上;所述螺纹调节圈和准直支架通过螺纹配合安装;所述固定支架与准直支架为螺纹配合连接,且具两者具备旋转限位作用,旋转螺纹调节圈控制准直支架直线移动以实现准直透镜到光纤位置连续可调。与现有技术相比,本发明具有可实现焦距自由调节的优点。

    一种振动衰减式的薄膜机械损耗高效测量系统及方法

    公开(公告)号:CN116539278A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310157729.9

    申请日:2023-02-23

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种振动衰减式的薄膜机械损耗测量系统及方法,该系统包括:设置在真空腔内的节点悬架式支撑模块,用于为被测试件提供真空环境下的单点接触条件;振动激励模块,用于为被测试件提供设定频率的振动激励;光杠杆振动检测模块,用于发射激光至被测试件并检测反射的光斑以进行振动检测;数据采集与控制处理模块,用于对振动激励模块进行控制,并依据光杠杆振动检测模块获取到的光斑位置信息利用基于动态滞弹性行为的振动自由衰减原理,通过振幅衰减变化分析试件镀膜前后的机械损耗变化以提取薄膜机械损耗。与现有技术相比,本发明具有结构简单、接触损耗低、测量高效、测量精度高的优点。

    一种用于板条激光器谐振腔全反射面的薄膜结构

    公开(公告)号:CN107863675B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201710855096.3

    申请日:2017-09-20

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于板条激光器谐振腔全反射面的薄膜结构,包括板条基板和SiO2薄膜,所述板条基板和SiO2薄膜间设置有一层一定厚度的高折射率混合材料HfxSi1‑xO2薄膜,大幅降低薄膜与板条基板界面的驻波电场强度,从而提高全反射面的激光损伤阈值并且不改变全反射临界条件。与现有技术相比,本发明具有提高激光损伤阈值、保持低吸收和实用性强等优点。

    一种修正石英监控法制备宽带增透膜沉积误差的方法

    公开(公告)号:CN107893216B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201710944000.0

    申请日:2017-09-30

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种修正石英监控法制备宽带增透膜沉积误差的方法,该方法包括以下步骤:1)设计监控厚度,制备一四层膜系,该四层膜系包括由高折射率材料制成的两种厚度的两层薄膜和由低折射率材料制成的两种厚度的两层薄膜;2)通过对制备的四层膜系的逆向反演及线性拟合,获得高折射率材料和低折射率材料的薄膜厚度偏差;3)以相同材料的所述薄膜厚度偏差对待制备的宽带增透膜的镀膜参数进行修正。与现有技术相比,本发明可以有效地修正沉积误差并提高光谱性能、操作简单且普适性强,使得宽带增透膜可以在实际中广泛生产。

    一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法

    公开(公告)号:CN106862114B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201710070731.7

    申请日:2017-02-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法,将LBO晶体依次执行下述步骤:采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面;采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗,所述弱碱性溶液包括NH4OH和H2O2,体积比为NH4OH:H2O2:H2O=1:8:50;采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗;将LBO晶体放置于装有无水乙醇的密闭容器内,对LBO晶体进行超声加热清洗;取出LBO晶体,再次漂洗;在正压容器环境中利用干燥氮气风刀对LBO晶体进行干燥。与现有技术相比,本发明具有清洗效果好,既可以提升LBO晶体镀膜后的抗激光损伤特性,又可以提升其镀膜后的薄膜附着力及抗裂纹特性等优点。

    一种金属/介质超宽带吸收薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108515743A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810466339.9

    申请日:2018-05-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种金属/介质超宽带吸收薄膜及其制备方法,所述金属/介质超宽带吸收薄膜包括由下而上依次设置的基板、第一薄膜和第二薄膜,所述第一薄膜(2)为由低折射率介质膜层L和高吸收金属薄层H交替设置构成的金属/介质膜堆,且第一薄膜与基板接触的一侧为低折射率介质膜层L,所述第二薄膜为一单层低折射率介质减反膜AR。与现有技术相比,本发明省略了传统厚层贵金属衬底,增加了薄膜与基板间的附着力和牢固度,选材方法新颖,实现了400nm-7000nm约7μm的吸收带宽,薄膜平均吸收率大于92%。

    一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置

    公开(公告)号:CN103018213B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201110288811.2

    申请日:2011-09-26

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置,其方法具体包括以下步骤:1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°;2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和;3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和;4)计算偏振特性因子p;5)用测试样品替换基板,分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和;6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP。与现有技术相比,本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响,提高了测量精度,而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换,降低了对偏振器的精度要求,从而降低了测量成本。

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