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公开(公告)号：CN116539278A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310157729.9
申请日：2023-02-23
Applicant: 同济大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种振动衰减式的薄膜机械损耗测量系统及方法，该系统包括：设置在真空腔内的节点悬架式支撑模块，用于为被测试件提供真空环境下的单点接触条件；振动激励模块，用于为被测试件提供设定频率的振动激励；光杠杆振动检测模块，用于发射激光至被测试件并检测反射的光斑以进行振动检测；数据采集与控制处理模块，用于对振动激励模块进行控制，并依据光杠杆振动检测模块获取到的光斑位置信息利用基于动态滞弹性行为的振动自由衰减原理，通过振幅衰减变化分析试件镀膜前后的机械损耗变化以提取薄膜机械损耗。与现有技术相比，本发明具有结构简单、接触损耗低、测量高效、测量精度高的优点。
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