微加速度计可靠性强化试验测试方法

    公开(公告)号:CN101639488B

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200910075247.9

    申请日:2009-08-22

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01P21/00

    摘要: 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式,方便产品研发,改善产品整体性能,步骤如下:1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤;2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤;3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力,了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况,以便解决微加速度计的缺陷,提高微加速度计的整体性能、可靠性,利于高可靠性微加速度计新产品开发。

    便携式红外瓦斯报警仪
    52.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101567120B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200910074252.8

    申请日:2009-04-27

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G08B21/16 G01N21/35

    摘要: 本发明涉及瓦斯检测领域,具体是一种便携式红外瓦斯报警仪。解决了现有瓦斯红外检测装置的灵敏度和精度未能达到理想的要求等问题,该报警仪包括置于盒体内的检测单元、信号处理电路,盒体上设有功能按钮、显示屏、报警器、报警指示灯,盒体上开有与检测单元正对的通气孔;检测单元为内置有红外光源、红外探测器的集气罐,集气罐包含侧壁上开有通孔的筒体、分别固定于筒体两端的端盖,端盖的内表面为凹镜镜面,红外光源、红外探测器分别通过支撑体与两端盖的内表面固定,并处于端盖内表面凹镜镜面的焦点位置。检测单元结构简单、合理、紧凑,便于加工,便于随身携带,整个报警仪的灵敏度高、响应速度快、稳定性好、测量精度高,应用范围广。

    微机械角加速度传感器
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100405067C

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200510012884.3

    申请日:2005-09-30

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01P15/125

    摘要: 本发明涉及了微机械角加速度传感器,主要包括一个悬浮质量块,两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板,检测极板与固定端固定,质量块与检测极板为电容的两个极;在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时,质量块将发生偏转,导致质量块与检测极板之间的距离发生变化,最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化,通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单,抗过载能力强,灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。

    利用冲击加速度发生器测量微加速度计动态线性的方法

    公开(公告)号:CN100368810C

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200510070953.6

    申请日:2005-05-19

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01P21/00

    摘要: 本发明为利用冲击加速度发生器测量微加速度计动态线性的方法。将微加速度计安装固定于冲击加速度发生器的细长棒的一端,用双膛冲击加速度发生器同时发射两个弹体,两个弹体同时与细长棒相撞,通过控制冲击加速度发生器,使两个弹体作用于细长棒上的冲击加速度脉冲的频率相同且峰值分别为a1、a2,测出微加速度计此时输出的加速度的峰值Y;冲击加速度发生器再分别发射两个其施加于细长棒上的冲击加速度脉冲的峰值分别为a1、a2的两个弹体,分别测出微加速度计对应的输出加速度的峰值Y1、Y2,计算是否(Y1+Y2)=Y或求得ΔY=(Y1+Y2)-Y,以ΔY是否在要求的精度范围内,来评价被测微加速度计的动态线性。本发明添补了微加速度计动态线性度测量的空白。

    三轴微加速度计轴心差角的四点测试方法

    公开(公告)号:CN100360942C

    公开(公告)日:2008-01-09

    申请号:CN200510012518.8

    申请日:2005-05-15

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01P21/00 G01P15/00

    摘要: 本发明为三轴微加速度计轴心差角的四点测试方法,涉及三轴微加速度轴心差角的测试方法。本发明解决目前没有测试三轴微加速度计轴心差角的具体方法的问题。将三轴微加速度计以被测轴垂直于分度头轴线、其它两轴分别平行于分度头轴线的方向固定于分度头夹具上,分别测出被测轴水平夹角为0°、90°、180°、270°时的加速度计对应于被测轴的电压输出,代入相应公式即可测得被测轴的轴心差角。本发明首次提出了利用精密光学分度头测试三轴加速度计轴心差角的测试方法。该方法操作简单,通过对几个固定位置的输出参数的测量,即可得到各轴的轴心差角且测量结果精确,与现有测试方法相比避免了大量反复寻找、测试的过程。

    利用冲击加速度发生器测量微加速度计动态线性的方法

    公开(公告)号:CN1677113A

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN200510070953.6

    申请日:2005-05-19

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01P21/00

    摘要: 本发明为利用冲击加速度发生器测量微加速度计动态线性的方法。将微加速度计安装固定于冲击加速度发生器的细长棒的一端,用双膛冲击加速度发生器同时发射两个弹体,两个弹体同时与细长棒相撞,通过控制冲击加速度发生器,使两个弹体作用于细长棒上的冲击加速度脉冲的频率相同且峰值分别为a1、a2,测出微加速度计此时输出的加速度的峰值Y;冲击加速度发生器再分别发射两个其施加于细长棒上的冲击加速度脉冲的峰值分别为a1、a2的两个弹体,分别测出微加速度计对应的输出加速度的峰值Y1、Y2,计算是否(Y1+Y2)=Y或求得ΔY=(Y1+Y2)-Y,以ΔY是否在要求的精度范围内,来评价被测微加速度计的动态线性。本发明添补了微加速度计动态线性度测量的空白。

    基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法

    公开(公告)号:CN104931034B

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201510334592.5

    申请日:2015-06-16

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01C19/5776

    摘要: 本发明涉及微机械陀螺仪,具体是一种基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法。本发明解决了微机械陀螺仪无法兼顾机械灵敏度和带宽的问题。基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)以扫频的方式确定微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的谐振角频率;2)根据微机械陀螺仪驱动模态和检测模态扫频测试的结果,计算得出微机械陀螺仪驱动模态和检测模态的品质因数;3)在微机械陀螺仪的检测回路中增设偶极子补偿控制器;所述偶极子补偿控制器包括零极点发生环节、比例环节。本发明适用于微机械陀螺仪。

    非交换量子几何相位NV色心陀螺

    公开(公告)号:CN106441262A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610541113.1

    申请日:2016-07-11

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01C19/62

    CPC分类号: G01C19/62

    摘要: 本发明为一种非交换量子几何相位NV色心陀螺,包括角速率敏感单元(3),所述角速率敏感单元包括屏蔽箱外壳(303),所述屏蔽箱外壳上开设激光入射口(305),所述屏蔽箱外壳内通过线圈底座(308)安装三轴亥姆霍兹线圈(307);所述三轴亥姆霍兹线圈内通过金刚石支架(309)安装含有集群NV色心的金刚石(302),所述金刚石支架上安装微波-射频天线(301),所述金刚石支架上位于金刚石四周安装光电二极管(311)。应用原子激发、量子调控等前沿技术,在激光、外加磁场、微波和射频的作用下对NV色心能级进行调控,利用锁频技术检测频率跃迁并用荧光数量布居变化进行收集和读取,研制高性能的非交换量子几何相位NV色心陀螺。

    主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法

    公开(公告)号:CN102608912B

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201210078220.7

    申请日:2012-03-23

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G05B11/42 G01C21/18

    摘要: 本发明涉及惯性导航控制技术,具体是一种主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法。本发明解决了目前尚无一种能够有效提高主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的控制品质的方法的问题。主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法,该方法是采用如下步骤实现的:a.采用大量程陀螺、小量程陀螺、高速模拟-数字转化采集电路构成转速复合测量-转速误差补偿系统;b.采用两个高精度加速度计构成陀螺g值敏感性补偿系统;c.采用逐次逼近PID整定方法对驱动系统的PID控制器进行参数整定;d.采用伺服电机与高精度编码器构成高动态响应驱动电机执行系统。本发明适用于高转速、小体积飞行器的姿态、轨迹测量。