公开(公告)号：CN100405067C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200510012884.3

申请日：2005-09-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 李锦明 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  熊继军 ,  秦丽 ,  马游春 ,  罗源源

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单，抗过载能力强，灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。

公开(公告)号：CN1746682A

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN200510012884.3

申请日：2005-09-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 李锦明 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  熊继军 ,  秦丽 ,  马游春 ,  罗源源

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单，抗过载能力强，灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。

公开(公告)号：CN2881649Y

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200520024986.2

申请日：2005-09-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 李锦明 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  熊继军 ,  秦丽 ,  马游春 ,  罗源源

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单，抗过载能力强，灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。